基于肖特基接触的碳纳米管场效应晶体管 - Nano Electronic Materials.PDF

器件与技术 纳米器件与技术 Devices and Technology Nanoelectronic Device Technology 基于肖特基接触的碳纳米管场效应晶体管 金铁凝 ，陈长鑫 ，刘晓东 ，魏良明 ，王 英 ，张亚非 　 （ ／ 上海交通大学 微纳科学技术研究院 薄膜和微细技术教育部重点实验室 微米 纳米 加工技术国家级重点实验室 ，上海 ） ２００２４０ 　 ： 、 ， 摘要 由于具有独特的一维纳米结构 稳定的化学特性和优异的电学性能 单壁碳纳米管被认为 是制作高性能电子器件以及下一代纳米电路的理想 材料 ，作为 新型基础 电子元件的一 种 ，碳纳米 管场效应晶体 管一直是研究的 热 点 。研究 了一 种基 于非对称肖 特 基接触 的碳纳米管 场效应晶体 管 ，金 属钯与金 属铝分别作为电极材料 制作 出的碳纳米管场效应晶体 管分别表现出 型和 ｎ型 的 ｐ 导通特性 ，当这两种金 属分别作为 源 、漏 电极 制作在 单根半导体 性单壁碳纳米管的 两端时 ，便 构 成了 非对称肖特基接触 结构碳纳米管 场效应晶体 管 。器件表现出了优良的 整流特性 ，整流比达到 ３ ３ １０，在栅压 的调控 下 ，正向 电流 的开关比接近 １０。 ： ； ； ； ； 关键词 碳纳米管 场效应晶体 管 肖特基势垒 二极 管 电子束光刻 中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＢ３８３ ＴＮ３８６．３ Ａ １６７１－４７７６ ２０１３ ０４－０２０１－０５ 　 　 ＣａｒｂｏｎＮａｎｏｔｕｂｅＦｉｅｌｄＥｆｆｅｃｔＴｒａｎｓｉｓｔｏｒｓＢａｓｅｄｏｎＳｃｈｏｔｔｋ Ｃｏｎｔａｃｔ 　 　 　 　 　 　 　 ｙ 　 ， ， ， ， ， ＪｉｎＴｉｅｎｉｎ ＣｈｅｎＣｈａｎ ｘｉｎ ＬｉｕＸｉａｏｄｏｎ ＷｅｉＬｉａｎ ｍｉｎ Ｗａｎ Ｙｉｎ Ｚｈａｎ Ｙａｆｅｉ 　 ｇ 　 ｇ 　 ｇ 　 ｇ ｇ ｇ ｇ ｇ