大功率CO 2 激光器输出窗口热性能分析 - 红外与激光工程.PDF

第46卷第2期 红外与激光工程 2017年2 月 Vol.46No.2 Infraredand LaserEngineering Feb.2017 大功率CO 激光器输出窗口热性能分析 2 1，2 1，2 3 1，2 张 阔 ，陈 飞 ，李若斓 ，杨贵龙 (1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光电对抗技术创新研究室，吉林 长春 130033； 2. 激光与物质相互作用国家重点实验室，吉林 长春 130033； 3. 内蒙古化工职业学院机电系，内蒙古呼和浩特 010070) 摘 要院为了研究大功率CO 激光发射过程中输出窗口吸收激光能量产生热性能变化的问题，建立2 了输出窗口传热学和结构力学耦合非稳态模型，通过对模型进行有限元分析得到表征输出窗口变化 的温度、热变形和热应力等参数分布。首先，针对大功率CO 激光特点，讨论了输出窗口材料GaAs和 2 ZnSe 的物理特性。然后，基于 10kW级大功率CO 激光器光学谐振腔结构和输出窗口材料物理特性， 2 建立了输出窗口传热学和结构力学的有限元模型。最后，利用COMSOL软件对该模型进行求解，得到 以GaAs和ZnSe 为材料的输出窗口的温度、热变形和热应力等参数分布，并对比分析不同窗口材料 对参数的影响。研究表明：在 10kW级激光作用下，ZnSe 窗口温升小于GaAs 窗口；两种输出窗口产 生滋m量级热变形；由于GaAs材料的热导率高，GaAs 窗口的热变形和热应力分布更为均匀。 关键词院 大功率CO 激光； 输出窗口； 温度； 热变形； 热应力2 中图分类号院TN248.2 文献标志码院A DOI院10.3788/IRLA201645.0205005 Analysis on thermal performance of output window in high power CO laser2 1,2 1,2 3 1,2 Zhang Kuo , Che Fei , Li Ruola , Yang Guilong (1. I ovatio Laboratory of Electro鄄Optical Countermeasures Technology, Changchu Institute of Optic, Fine Mechanic and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchu 130033, China; 2. State Key Laboratory of Laser Interactio with Matter, Changchu 130033, China; 3. Mechanical and Electrical Department, I er Mongolia Vocational College of Chemical Engineering, Huh