微纳米薄膜材料中激光皮秒超声的数值模拟 - 江苏大学.PDF

２０１２年１月 第３３卷　第１期 Ｊａｎ．２０１２ Ｖｏｌ．３３　Ｎｏ．１ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１６７１－７７７５．２０１２．０１．０１７ 微纳米薄膜材料中激光皮秒超声的数值模拟 １ ２ １ １ ２ 许伯强 ，张子国 ，徐晨光 ，徐桂东 ，杨小平 （１．江苏大学 理学院，江苏 镇江２１２０１３；２．江苏大学 机械工程学院，江苏 镇江２１２０１３） 摘要：基于双温模型和热弹性耦合理论，采用有限元方法，针对Ａｌ／ＳｉＮ 和Ａｌ／ＳｉＮ／Ｓｉ两种层状 ３ ４ ３ ４ 薄膜材料中激励皮秒超声，建立激光飞秒超声的有限元数值模型，得到Ａｌ薄膜中电子和晶格的温 度场，进而分析薄膜内部的应变和表面位移响应．对比研究了双温模型理论和傅里叶热传导理论的 计算，结果表明皮秒超声研究采用双温模型求解温度场更为合适，数值分析得到应变具有幅值较小 且波形展宽的结果．表面位移响应峰的形成是超声波在薄膜材料界面处发生反射引起的． 关键词：薄膜；双温模型；皮秒超声；有限元；数值模拟 中图分类号：Ｏ４２６．９　　文献标志码：Ａ　　文章编号：１６７１－７７７５（２０１２）０１－００８３－０５ Ｎｕｍｅｒｉｃａｌｍｏｄｅｌｉｎｇｏｆｌａｓｅｒｉｎｄｕｃｅｄｐｉｃｏｓｅｃｏｎｄ ｕｌｔｒａｓｏｕｎｄｉｎｍｉｃｒｏｎａｎｏｔｈｉｎｆｉｌｍｓ １ ２ １ １ ２ ＸｕＢａｉｑｉａｎｇ，ＺｈａｎｇＺｉｇｕｏ，ＸｕＣｈｅｎｇｕａｎｇ，ＸｕＧｕｉｄｏｎｇ，ＹａｎｇＸｉａｏｐｉｎｇ （１．ＦａｃｕｌｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅ，ＪｉａｎｇｓｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｚｈｅｎｊｉａｎｇ，Ｊｉａｎｇｓｕ２１２０１３，Ｃｈｉｎａ；２．ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＪｉａｎｇｓｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ， Ｚｈｅｎｊｉａｎｇ，Ｊｉａｎｇｓｕ２１２０１３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｂａｓｅｄｏｎｔｗｏｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｍｏｄｅｌ（ＴＴＭ）ａｎｄｔｈｅｒｍａｌｅｌａｓｔｉｃｔｈｅｏｒｙ，ｆｉｎｉｔｅｅｌｅｍｅｎｔｎｕｍｅｒｉｃａｌ ｍｏｄｅｌｏｆｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒｉｎｄｕｃｅｄｐｉｃｏｓｅｃｏｎｄｕｌｔｒａｓｏｕｎｄｗａｓａｐｐｌｉｅｄｉｎｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｎｇｌａｓｅｒｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎｏｆ Ａｌ／ＳｉＮａｎｄＡｌ／ＳｉＮ／Ｓｉｍｕｌｔｉｌａｙｅｒｔｈｉｎｆｉｌｍｓ．ＴｈｅｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｆｉｅｌｄｓｏｆｅｌｅｃｔｒｏｎａｎｄｌａｔｔｉｃｅｉｎＡｌｆｉｌｍ ３ ４ ３ ４ ｗｅｒｅｃａｃｕｌａｔｅｄｂｙｔｈｅｆｉｎｉｔｅｅｌｅｍｅｎｔｍｅｔｈｏｄｔｏａｎａｌｙｚｅｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｒｅｓｐｏｎｓｅａｎｄｓｔｒａｉｎｉｎ ｔｈｉｎｆｉｌｍｓ．ＴｈｅｃｏｍｐｕｔａｔｉｏｎａｌｒｅｓｕｌｔｆｒｏｍＴＴＭｔｈｅｏｒｙｗａｓｃｏｍｐａｒｅｄｗｉｔｈｔｈａｔｆｒｏｍｃｌａｓｓｉｃａｌｆｏｕｒｉｅｒｈｅａｔ ｔｒａｎｓｆｅｒｔｈｅｏｒｙ．ＴｈｅｃｏｍｐａｒｉｓｏｎｉｎｄｉｃａｔｅｓｔｈａｔＴＴＭｔｈｅｏｒｙｉｓｓｕｉｔａｂｌｅｆｏｒｐｉｃｏｓｅｃｏｎｄｕｌｔｒａｓｏｎｉｃｉｎｖｅｓｔｉｇａ ｔｉｏｎ．Ａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｎｕｍｅｒｉｃａｌａｎａｌｙｓｉｓ，ｔｈｅｓｔｒａｉｎａｍｐｌｉｔｕｄｅｉｓｓｍａｌｌｗｉｔｈｗｉｄｅｗａｖｅｆｏｒｍ．Ｔｈｅｐｅａｋｓｏｆ ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｒｅｓｐｏｎｓｅｓｐｅｃｔｒｕｍｏｎＡｌｓｕｒｆａｃｅａｒｅｉｎｄｕｃｅｄｂｙｕｌｔｒａｓｏｕｎｄｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎｗｉｔｈｉｎｔｈｅｉｎｔｅｒｆａｃｅｏｆ ｆｉｌｍｓ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｔｈｉｎｆｉｌｍ