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无移动部件微泵的设计、制造及基于微PIV技术的流动测量.pdf
第19卷第3期 实 验 流 体 力 学 Vd．19．No．3
of inFluidMechanics
2005年09月 Journal
Experiments Sop．，2005
文章编号：1672—9897(2005)03—0067—06
无移动部件微泵的设计、制造及
基于微PIV技术的流动测量
王飞，王健，何枫
(清华大学工程力学系，北京 100084)
摘要：基于简化微泵加工难度、延长寿命及特殊管道流体特性原理，设计了一种无移动部件徽泵。通过数值计
算对设计微泵进行优化。用特殊材料PDMS及微机械加工工艺制造出微泵。用微PIV粒子戚像技术测量了徽泵流
场特性及流量。可实现在工作频率600一2000Hz下，微泵流量为0．01—0．1“L／s。
关键词：微泵；微PIT技术；PDMS；Te山阀
中田分类号：0572．3 文献标识码：A
andmicro—PIVmeasurementon
Design，fabrication no—moving—part
WANG
Fei，WANGJian，HE
Feng
of
(DepartmentEngineeringMechanics，Tsinghu8 100084，China)
University，Beiihag
Abstract：Inorderto thefabricationand the timeofthe
prolong
simpl讧y process working micro·pump，
thedifferentkindsof were theflowcharacteristicsof
micro·pumps
no—moving-part designedaceorclin$to special
was to
tubes．ThemethodofCFD the 8trtletAlreS．The witllthema-
employedoptimize
micro-pump micro-pumps
terialPDMSwerefabricated wasinttnclucedtoinvesti·
bymicromechiningprocesses．Themicro-PⅣtechnology
theflow andmeasuretheflowrateofthe c∞tllin商erfluidin
gate characteristics micro-pump．Themicro-pump
flowrateof atthe of600～2000Hz．
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