电容式压力传感器采用变电容测量原理 - 控制科学与工程学系.PPT

压电元件 压电元件具有正压电效应（压电效应）和逆压电效应； 主要应用： 压力传感器； 石英晶体振荡器（晶振），广泛用于电子产品； 超声换能器 石英晶振 晶体滤波器 超声换能器 压电式检测元件的等效电路 压电元件的电极表面聚集电荷时，相当于一个以压电材料为电介质的电容器 电荷源和电容并联 电压源和电容串联 a) b) 结构型式 在压电式传感器中，常用两片或多片组合在一起使用。由于压电材料是有极性的，因此接法也有两种，如图所示。 体积小，结构简单紧凑，工作可靠 测量范围宽，可测100MPa以下的压力 测量精度较高，线性度好 频率响应高，可达30kHz，是动态压力检测中常用的传感器 由于压电元件存在电荷泄漏，故不适宜测量缓慢变化的压力和静态压力。 压电式压力传感器特点 金属应变片和金属热电阻在组成测量电路时有何差异？ 为什么压电式压力表不能用于稳态压力的测量？ 压电式传感器测量电路的作用是什么?其核心是解决什么问题? 思考题？ 作业 1（p85,No.2.10）、有一电容测微仪，其传感器的圆形极板半径r=5mm，工作初始间隙δ =0.3mm，问： （1）工作时，如果传感器与工作的间隙变化量Δδ =±1μm时，电容变化量是多少？ （2）如果测量电路的灵敏度S1=100mV/pF，读数仪表的灵敏度S2=5格/mV，在Δδ =±1μm时，读数仪表的指示值变化多少格？ 弹簧管压力表 弹簧管压力表 1.弹簧管 2.拉杆 3.扇形齿轮 4.中心齿轮 5.指针 6.面板 7.游丝 8.调整螺钉 9.接头 结构原理图 单圈和多圈弹簧管可用于高、中、低压或真空度的测量 弹性式压力检测仪表组成 敏感元件 零点、量程校准 转换元件 显示 弹簧管 膜盒 波纹管 结构简单、使用方便、价格低廉； 测量范围宽，可以测量负压、微压、低压、中压和高压（可达1000MPa）； 准确度最高可达0.1级； 弹簧管的材料选择： 当p20MPa时，弹簧管采用磷铜；当p20MPa时，则采用不锈钢或合金钢。 对于腐蚀性介质，一方面可采用隔离膜和隔离液；另一方面也可采用耐腐蚀的弹簧管材料。 测氨介质须用不锈钢弹簧管等耐氨材料； 测量氧气压力，严禁沾有油脂，采用氧用压力表 弹簧管压力表特点 波纹管差压计－波纹管 波纹管压力表的测量范围较小，一般为0-0.4MPa，仪表的准确度等级为1.5-2.5级； 双波纹管可以用于测量差压 波纹管差压计 3. 连杆 4. 挡板 5. 摆杆 6. 扭力管 膜片压力（差压）表－膜片、膜盒 膜盒压力表 1-膜盒 2-刻度盘 5-指针 14-引压管 膜盒压力表主要用于测量较低压力或负压的气体压力，压力测量范围为-20~40kPa，仪表的准确度等级一般为1.5-2.5级。 膜片压力表的工作原理与膜盒压力表相近，测量准确度也差不多，但膜片压力表的可测压力范围较宽，最高可达2.5MPa。 膜片常常和其他转换元件一起使用构成电远传式压力仪表。 膜片压力（差压）表 基本原理：也是利用弹性元件作为敏感元件，但在仪表中增加了转换元件（或装置）和转换电路，能将弹性元件的位移转换为电信号输出，实现信号的远传。 电远传式压力仪表常称压力传感器或压力变送器 2. 电远传式压力检测仪表 压力——位移——电信号 1.低压室 2.高压室 3.测量元件（膜盒、膜片） 4.轴封膜片 5.主杠杆 6.过载保护片 7.静压调整螺钉 8.矢量机构 9.零点迁移弹簧 10.平衡锤 11.量程调整螺钉 12.检测片（衔铁） 13.差动变压器 14.副杠杆 15.放大器 16.反馈动圈 17.永久磁钢 18.电源 19.负载 20.调零弹簧 2.1力平衡式压力变送器 力平衡式系统结构 基本原理：电容式压力传感器采用变电容测量原理，将由被测压力引起的弹性元件的位移变形转变为电容的变化。 2.2电容式差压变送器 压力——位移——电容 差动变极距式电容压力传感器 采用差动电容法可以改善非线性、提高灵敏度、并可减小因ε受温度影响引起的不稳定性 结构坚实，灵敏度高，过载能力大； 精度高，其精确度可达±0.25％-±0.05％； 可以测量压力和差压 变面积式电容压力传感器 2.3霍尔压力传感器 K：霍尔式压力传感器输出系数 x：自由端霍尔元件的位移量 弹簧管+霍尔元件 霍尔元件 ? 霍尔效应 ? 霍尔元件 Ge/Si/InAs/InSb 控制电流引线 霍尔电压引出线 I 恒定 ? U ~ B 在一定范围内呈线性 2 1 Δx=0 时, 霍尔电压不等于零 动态范围可达 5 mm, 分辨率为 0.001mm 适合于微位移量及振动的测量 首先用弹性元件将被测压力转换成弹性元件的位移，再用电学的方法将