子注入掺铒硅发光中心的光致发光研究.pdfVIP

　第 19 卷第 5 期　　　　　　　　半　导　体　学　报　　　　　　　　 . 19, . 5　 V o l N o 　1998 年 5 月　　　　　　 　　　　　 　 , 1998　 CH IN ESE JOU RNAL O F SEM ICONDU CTOR S M ay 离子注入掺铒硅发光中心的光致发光研究 雷红兵　杨沁清　王启明 (集成光电子国家重点实验室　中国科学院半导体研究所　北京　100083) 周必忠　　肖方方 ( 厦门大学物理系　厦门　361005)