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第 22 卷 第 34 期 实 　验 　力 　学 Vol . 22 No . 34 2007 年 8 月 J OU RN AL O F EXP ER IM EN TAL M EC HAN ICS Aug . 2007 文章编号 :100 14888 (2007) 03 0402 1712 探 针 实 验 力 学 李喜德 (清华大学 ,北京 100084) 摘要 : 扫描探针显微系统的发明 ,使人们通过探针获得了原子级的微观结构 ,而近年的研 究更是将探针技术应用于各种相互作用的检测和分析之中。一个以探针为检测平台的 新的检测技术和系统已日益凸显并引起广泛关注 。本文提出探针实验力学这一新概念 , 并以探针为主题介绍其在微纳尺度材料和结构的力学性能检测中的相关技术和典型应 用 。涉及探针检测系统及其标定 、探针检测中的夹持和加载 、探针和试样表面的相互作 用 、探针微力传感器等 。 关键词 : 扫描显微镜 ; 探针 ; 微纳米力学 ; 实验力学 ; 材料力学性能 ; 表面界面相互作用 中图分类号 :O647 ; O348 ; O343 　　　文献标识码 : A 0 　引言 随着微电子 、集成微光机电系统 、表面工程 、生物材料等的飞速发展 ,结构或器件的尺寸越来越小 , 人们迫切需要一种有效的实验手段来了解它们在微纳米尺度下的力学性能 。同时 ,微纳尺度力学和跨 尺度关联的基础研究也迫切需要实验基础 。因此实现微纳米尺度材料和结构的力学行为测量是理论界 和工程技术界共同关注的一个前沿问题 ,也是发展微纳米尺度力学学科的基础 。但是 , 由于常规检测系 统和技术的限制 ,现有的微纳尺度实验检测技术和系统非常有限 ,而且实验测量所获得的力学参量也存 在不少分歧 ,这严重影响了相关技术的发展 。研究和发展微纳尺度条件下的新的实验检测技术和方法 成为迫切的要求 。 然而 , 由于微纳尺度结构和器件的小尺度特点 ,在进行力学性能检测时 ,夹持 、加载和微力检测成为 检测中的困难环节 。虽然近年来研究者通过发展不同的检测技术和系统 ,实现了诸如微梁 、微桥和低维 薄膜等微尺度对象的力学性能检测 。但是 ,当检测对象的特征尺寸到达微米至纳米尺度时 ,现有检测技 术和系统就显示出了明显的不足 。探针作为原子力显微镜中重要的感力单元 , 由于其结构简单 、尺度微 小 , 已逐渐被用于微纳尺度结构和器件的力学性能检测中。本文首先介绍探针平台的基本结构和标定 方法 ,然后从探针检测的基本原理出发 ,探讨探针实验检测中探针与试件之间的相互作用 , 以及探针在 微纳尺度结构和器件力学性能检测中的典型应用 。 1 　探针检测系统及探针的标定 1. 1 　探针及探针检测系统 广义地讲 ,探针可以是任何类似于针状的结构 ,但 目前能真正用于微纳尺度材料和结构力学性能检 收稿 日期 : 基金项目: 国家自然科学基金项 目No . 1057207 1 、No .; 国家重点基础研究发展计划 2004 CB6 19304 及清华大学强度开 放基金等的资助 ( ) 通讯作者 : 李喜德 1964 - ,男 ,清华大学教授 。主要研究方向为实验固体力学、微纳米力学 。Email : lixide @t singhua . edu . cn ( ) 218 　　　　　　　　　　　　　　　　实 　验 　力 　学 　　　　　　　　　　　　　　 2007 年 第 22 卷 　 测的探针主要分为两类 ,一类为微纳米压痕仪所采用的各种压头结构 ,另一类则是原子力扫描显微镜所 (