大行程精密定位平台偏摆误差的补偿方法.PDFVIP

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2017-07-21 发布于天津
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第卷第期振动测试与诊断年月大行程精密定位平台偏摆误差的补偿方法刘吉柱李健张雯雯王阳俊潘明强陈立国苏州大学机电工程学院苏州苏州大学苏州纳米科技协同创新中心苏州摘要精密定位平台在导轨动连接处刚度较差在高速高动态工作中这里易产生偏摆振动为了减小偏摆误差对定位平台的影响提高定位精度通过对直线电机驱动气浮导轨支撑和导向的高精度定位平台进行研究根据定位平台偏摆误差的动态特性采用偏摆误差补偿方法设计一种偏摆误差检测系统采用平尺和微位移传感器相结具有高频响非接触式的特点设计了一种基于压电陶瓷驱动的两维微位移补偿机构同时通过将气浮导轨滑块副简化成弹簧质量和阻尼相结合的系统推导出了定位平台两自由度的偏摆振动模型基于误差补偿系统的偏摆误差补偿实验表明精密定位平台的定位精度得到了较大提高定位平台的定位精度优于关键词偏摆误差振动模型压电陶瓷误差补偿中图分类号建模分析建立了偏摆误差检测模型研究了基于偏引言摆误差补偿的定位系统改善了定位平台精度随着纳米光刻微机电系统偏摆误差分析及模型的建立简称封装超精密加工微电子工程及生物医学工程等领域的迅速发展对定纳米压印平台采用型串联结构如位平台的动静态特性要求也越来越高定位系统的图所示其上下直线运动轴采用超精密静压气