计量型紫外光学显微镜自动对焦系统的研究 - 计量学报.PDF

第３５卷　第６Ａ期 计　　　 量　　　学　　　报 　Ｖｏｌ．３５，№６Ａ ２０１４年　１２月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　 Ｄｅｃｅｍｂｅｒ，２０１４ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１４．ｚ１．０６ 计量型紫外光学显微镜自动对焦系统的研究 １ ２ ２ ２ ２ ２ 尹传祥 ，　高思田 ，　李　琪 ，　李　伟 ，　施玉书 ，　李　适 （１合肥工业大学，安徽 合肥２３０００９；２中国计量科学研究院，北京 １０００２９） 摘要：计量型紫外光学显微镜是一套采用２４８ｎｍ深紫外光线以及１００倍紫外物镜的可溯源光学设备，其光学 分辨率可以达到１００ｎｍ。如此高分辨率导致深紫外显微镜景深只有 ｍ量级，轻微的扰动将会导致严重的离焦现 μ 象，因此在计量型紫外光学显微镜对掩模板进行测量过程中需要实时自动聚焦，避免离焦影响测量精度。计量型 紫外光学显微镜的自动聚焦系统通过紫外相机、紫外物镜、ｎｍ级物镜执行器获取一系列光学切片图像，然后通过 设置关键区域作为对焦窗口，同时采用基于ｃｏｉｆ小波变换的图像清晰度评价函数找到最佳聚焦位置，最终采用ＶＣ 与Ｍａｔｌａｂ混合编程实现紫外光学测量时的自动聚焦。经过实验验证该套自动聚焦系统最终对焦精度可达 ０５ ｍ。 μ 关键词：计量学；自动对焦；混合编程；小波变换；清晰度评价函数 中图分类号：ＴＢ９２　　　　文献标识码：Ａ　　　　文章编号：１０００１１５８（２０１４）６Ａ００２６０５ ＲｅｓｅａｒｃｈｏｆＡｕｔｏｆｏｃｕｓＳｙｓｔｅｍｏｎＭｅｔｒｏｌｏｇｉｃａｌＵｌｔｒａｖｉｏｌｅｔＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ １ ２ ２ ２ ２ ２ ＹＩＮＣｈｕａｎｘｉａｎｇ，　ＧＡＯＳｉｔｉａｎ，　ＬＩＱｉ，　ＬＩＷｅｉ，　ＳＨＩＹｕｓｈｕ，　ＬＩＳｈｉ （１ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈｅｆｅｉ，Ａｎｈｕｉ２３０００９，Ｃｈｉｎａ； ２ＮａｔｉｏｎａｌＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００２９，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｈｅｍｅｔｒｏｌｏｇｉｃａｌｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅｉｓａｔｒａｃｅａｂｌｅｏｐｔｉｃａｌｄｅｖｉｃｅＩｔｕｓｅｓ２４８ｎｍｄｅｅｐｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ ｉｌｌｕｍｉｎａｔｉｏｎｌｉｇｈｔａｎｄａ１００×ＵＶｏｂｊｅｃｔｉｖｅｌｅｎｓｔｏｕｐｔｏ１００ｎｍｏｐｔｉｃａｌｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎＢｅｃａｕｓｅｏｆｔｈｅｈｉｇｈｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ，ｉｔｗｉｌｌ ｂｅｅａｓｉｌｙｏｃｃｕｒｄｅｆｏｃｕｓｐｈｅｎｏｍｅｎｏｎＩｎｏｒｄｅｒｔｏｅｎｈａｎｃｅｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｃｃｕｒａｃｙ，ｉｔｉｓｒｅｑｕｉｒｅｄｔｈｅｒｅａｌｔｉｍｅａｕｔｏｆｏｃｕｓ ｆｕｎｃｔｉｏｎｗｈｅｎｍｅａｓｕｒｉｎｇｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙｐｈｏｔｏｍａｓｋＡｓａｐａｒｔｏｆｍｅｔｒｏｌｏｇｉｃａｌＵＶｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ，ｔｈｅａｕｔｏｆｏｃｕｓｓｙｓｔｅｍｕｔｉｌｉｚｅｓＵＶ ｃａｍｅｒａ，ＵＶｌｅｎｓ，ａｎｄｌｅｎｓａｃｔｕａｔｏｒｔｏｏｂｔａｉｎａｓｅｒｉｅｓｏｆｏｐｔｉｃａｌｓｌｉｃｅｉｍａｇｅｓ，ｔｈｅｎｓｅｖｅｒａｌｋｅｙａｒｅａｓａｒｅｓｅｔａｓｔｈｅｆｏｃｕｓ ｗｉｎｄｏｗ，ｎｅｘｔｔｈｅｉｍａｇｅｓｈａｒｐｎｅｓｓｅｖａｌｕａｔｉｏｎｆｕｎｃｔｉｏｎｂａｓｅｄｏｎｃｏｉｆｗａｖｅｌｅｔｔｒａｎｓｆｏｒｍｉｓｕｓｅｄｔｏｆｉｎｄｔｈｅｂｅｓｔｆｏｃｕｓｐｏｓｉｔｉｏｎ．