Centrothem扩散炉尾气管更换流程.doc

题 目：centrothem扩散炉尾气管维护更换流程 文件号： 版本号： 修订状态：0 发布日期： 流 程 图 操作过程 注意事项 所需工具 所需工时 备注 时间 人员 查看CMI屏幕显，确认所更换炉管工艺结束。如下图： 2．设定“paddle”温度为600℃：按下“Manual/T-Paddle/All/Setpiont”输入“600”并按下“ENTER”确认。如下图： 3.打开Jobs界面将pocl1-1锁定。如下图： 确认所维护的管子不在运行工艺（以pocl1-1为例） 待温度降至600℃，更换尾气管是在炉温600℃时进行 防止维护过程中做运行工艺 1min 30min 1min 1人 1人 1人 题 目： centrothem扩散炉尾气管维护更换流程 文件号： 版本号： 修订状态：0 发布日期： 流 程 图 操作过程 注意事项 所需工具 所需工时 备注 时间 人员 4.戴好两层乳胶手套和口罩以及高温手套。如下图： 5.将夹子上的调节螺母拧松拿掉，松开夹子，松开球头球腕垫圈。如下图： 6.松开连接废液瓶的并圈，取下过滤废液瓶。如下图： 乳胶手套戴两层，耐高温手套备用。 注意不锈钢夹子松开方向，清洗球头球碗垫圈，必要时更换。 清理废液，清洗过程中防止废液瓶损坏。 乳胶手套、耐高温手套，活络扳手 2min 10min 10min 1人 2人 1人 题 目： centrothem扩散炉尾气管维护更换流程 文件号： 版本号： 修订状态：0 发布日期： 流 程 图 操作过程 注意事项 所需工具 所需工时 备注 时间 人员 7.向外抽尾气管取时，手要稳、而且速度不能太快，以避免折断。如下图： 8，查看尾气管是否有堵塞和断裂，如下图 9，安装时，手要稳、要平且速度要慢。如下图： 操作过程中当心烫伤皮肤。戴好耐高温手套，一只手握住尾气管端口，另一手拿着扳手作为尾气管的支架，平稳的抽出检查。 检查时小心烫手。 小心碰坏，石英制品 乳胶手套、耐高温手套，活络扳手 3min 10min 5min 2人 1人 1人 题 目： centrothem扩散炉尾气管维护更换流程 文件号： 版本号： 修订状态：0 发布日期： 流 程 图 操作过程 注意事项 所需工具 所需工时 备注 时间 人员 10.将尾气管球头球腕衔接好之后用调节夹子将其夹住，并拧紧螺母。如下图： 11．装上废液瓶和过滤瓶。如下图： 12.将废弃物要分类放置在专用的垃圾桶内. 并交付生产， 尾气管接头连接好，手要拿稳，以免错移而在生产过程中漏气。 要仔细，以免损坏或漏气。 将气源柜擦试干净。一定要向设备负责人交付。 3min 10min 5min 1人 1人 1人 确认状态 设定温度 红色为锁定 工艺结束 正在工艺 温度降至 600℃ 锁定1号管 球头球腕垫圈 防护用具 卸废液瓶 耐高温手套 口罩 拆卸接头 拧紧螺母 实际温度 用活络扳手作支架 至下页 装上清洗好的废液瓶和过滤瓶 尾气管夹子 活络扳手 整理5S前 装废液瓶 尾气管完好 抽取尾气管 抽尾气管 安装尾气管 装尾管夹 整理5S后 有堵塞 架 更换新尾气管 球头球 腕结构 调节螺母 夹住接头 平稳插入 至下页 NG YES 断裂的尾气管 无堵塞 架 整理5S 松开并圈取下过滤瓶和废液瓶并清理 至下页