双柔性平行六连杆微动平台结构的设计和测试.pdfVIP

第 23卷 第 1O期 光学 精密工程 V01．23 No．10 2015年 1O月 OpticsandPrecisionEngineering 文章编号 1004—924X(2015)10-2860—10 双柔性平行六连杆微动平台结构的设计及测试 赵荣丽，陈 新 ，李克天 (广东工业大学广东省微纳加工技术与装备重点实验室，广东广州 510006) 摘要 ：采用直 圆型柔性铰链设计 了承载能力较大的双柔性平行六连杆微纳定位平台，并对其性能进行 了测试 。基于柔性 铰链经典刚度公式计算了直圆型柔性铰链转动刚度 ，推导了双柔性平行六连杆微动平台在运动方向的整体刚度函数 ；建 立了平台的动力学模型，得到了平台的固有频率解析式。基于静动态特性优化设计了双柔性平行六连杆微纳定位平台， 得到了平 台的优化参数 。基于激光干涉仪和多普勒激光测振仪建立 了平 台的静动态特性测试系统 。对微纳定位平 台进 行了试验和测试，结果显示 ：刚度的理论计算值为 7．92N／~／m，试验值为 7．44N／gm，误差为 6．5 ；固有频率的理