精密仪器设计第四节作业.docxVIP

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精密仪器设计第四章作业1.试分析图1中机构的特点①分析机构原理并画出原理图;②分析机构的主要优点?图1 微位移机构a)图1.1 压电驱动微动台结构原理图机构原理:当压电晶体两端施加电压时,产生微位移,使得杠杆M1上的a点产生一绕支点b转动的微位移,在c点上使杠杆M2绕支点d转动并在e点处拉动工作台S作微量位移。杠杆M3的支点为f,工作台S由两个杠杆M2和M3上的e点和g点支持,原理简图为图1.1这样,压电晶体的微位移便经过杠杆M1和M2放大,其放大比例为优点:由于采用了柔性铰链,故无爬行、无间隙、无轴承噪声、不需要润滑、位移分辨精度高、而且在低频下运行没有内热产生,且结构紧凑,适合各种超精密加工环境,特别是超真空等。b)图1.2 单层X-Y弹性微动工作台结构原理图机构原理:它的原理简图见图1.2,他可简化为两个分别进行x、y向运动的平行四连杆机构。在工作台A、B两处安装两个电致伸缩微位移器,当在微位移器上施加电压时,由于四连杆受力而变形,获得两个方向的微位移δx和δy。优点:与(a)机构有相同的优点,而且可以在单层上实现两个方向的微动。c)图1.3 三自由度微动工作台工作原理:原理简图如图1.3所示,整个微动工作台面由4个两端带有柔性铰链的柔性杠支撑,由3个筒状压电晶体驱动,压电器件安装在两端带有柔性铰链的支架上,支架分别固定在粗动台和微动台上,只要控制3个压电器件上的外加电压,便可得到,,等3个微动自由度。主要优点与(a)相同d)图1.4弹性缩小微动台原理图工作原理:若弹簧A、B的刚度分别为KA、KB,输入位移为Xi,则微动台的位移X为如果,则工作台的位移x相对于输入位移xi就被大大地缩小了。优点:结构简单e)图1.5 微动机构原理图工作原理:如图1.5所示,用了1/50缩小率的两极杠杆机构,缩小率可有如下公式计算得应用此公式,可计算出(e)中第二个图中的缩小率为优点:能通改变杠杆的级数来改变位移的缩小比,结构简单。2. 一个叠层体电致伸缩微位移器(如图2所示),由n片厚度为t的PZT:La组成,电致伸缩系数为M,求这个微位移器所产生的总位移量D,并画出特性曲线。已知:n=65;t=0.3mm;M=5.5×10-16m2/V2;V=300伏。(提示:电致伸缩微位移器结构:机械串联,电压并联)图2 电致伸缩微位移器答:由于,,又由于,,得特性曲线如下:图2.1 电致伸缩位移器的特性曲线3.细绳索悬吊式电磁控制微动工作台如图3所示,其中:初始最大间隙dmax=5×10-3m;悬吊金属丝长度L=4×10-1m;空气导磁率μ0=0.62×10-6H/m;N=80圈;I=2安;磁极截面积S取(5×10-3)×(5×10-3)m2;弹簧为圆柱形螺旋弹簧,弹簧系数α=(2.83×102)kg/m。试求:微动工作台的位移量。图3 电磁驱动原理答:由电磁铁的吸引力等于弹簧的拉力得

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