环保措施落实情况报告-上海集成电路研发中心.PDF

上海集成电路研发中心有限公司 开放式集成电路中试线建设工程（一期）环保措施落实情况报告 一、项目概况 1、项目名称和性质  项目名称：上海集成电路研发中心有限公司开放式集成电路中试 线建设工程（一期）  项目地址：上海浦东新区 高斯 路497 号  建设单位名称及性质（独资、合资、国有、民营、集体、股份制、 其他）：国有  建设项目性质（新建、改建、扩建、技改、变更）：新建  占地面积，建筑面积（平方米）： 占地面积：30494m2 建筑面积：48601m2 2 、环评文件审批 2016 年8 月由上海市环境科学研究院单位编制环境影响评价文 件，获得批复（沪环保许管［2006 ］975 号）。 3、施工期环保措施落实情况 本项目2008 年开工建设，建设工程位于上海市浦东张江高科 技园区内高斯路497 号,建设范围东北至新先锋制药厂,南到东电 电子公司,西至高斯路，占地面积：30494m2 。项目由信息产业电子第 十一设计院设计、土建由上海龙元建设施工，土建施工期间施工期的 环境保护措施落实情况良好，办理了施工临时排水许可证，雨污水分 1 流，严格控制了施工过程中的噪音、粉尘、气味、废水等现象，土建 施工期环境监测情况良好。 4 、项目主要内容 项目主要内容应包括主体工程及配套设施，主要包括以下几个方 面:  主要产品名称,设计生产能力或规模、功能； 本项目主要为建设国内先进的 200-300mm 的半导体工艺研发中 试线，具备研发、验证90--65 纳米技术工艺和对生产线的转移能力。 项目设计生产能力2000 片硅片/ 月。本期完成了包括办公楼、主体净 化厂房、动力用房和辅佐用房的全部土建部分建设、内装修、主要的 基础动力配置和包括酸、碱有机废气排风、废水处理等相应环保处理 设施，引进了7 台12 英寸工艺设备。实际生产能力800 片硅片/ 月  主要原材料、燃料的名称和用量,用水量、排水量等； 生产所用主要原材料 序号 名称 单位 年用量 1 H2 （4% ）/N2 M3 8 2 49% HF M3 10 3 C2F6 M3 3 4 C4F6 M3 0.06 5 C4F8 M3 0.06 6 CF4 M3 1 7 CH2F2 M3 0.06 8 CH3F M3 0.06 9 CHF3 M3 1 10 H2O2 M3 50 11 H2SO4 M3 10 12 CO M3 5 13 NF3 M3 3 14 NH3