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创新技术之专利布局–以全自动虚拟量测为例
~創新 人才培育~
創新技術之專利布局 – 以全自動 虛擬量測為例
Patent Layout of Innovative Technology —
Take Automatic Virtual Metrology as an Example
鄭 芳田
E化製造研究中 心
國 立成功大學
November 15, 2012
1
目 錄
• 虛擬量測 (Virtual Metrology, VM)定義
• 步驟 1: VM 系統
• 步驟 2: RI/GSI 架構
• 步驟 3:雙階段虛擬量測架構
• 步驟 4: 全自動 虛擬量測 (AVM)系統
• 步驟 5: 將AVM功能加入MES架構內
• 步驟 6:應用 AVM執行全廠 R2R控制
• 正進行中 與將來的 AVM應用及推廣
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虛擬量測 定義
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虛擬量測 (Virtual Metrology, VM)定義
• 在產品尚 未或 無法進行實際量測之情況下 ，利用 生產機台 參數 ，推估 其
所 生產之產品品質 ，以便達到全檢之標的 。
產品
實際量測值 y i
e U C L
u
生產機台 l
a
v T T
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