Cleanroom Classification Standards（无尘室分类的标准）.PDFVIP

Cleanroom Classification Standards （無塵室分類的標準） The History （歷史沿革） 歷史沿革 1961年，美國空軍發表無塵室分類之標準技術 手冊（Technical Manual ）00-25-203 。 設計與微塵粒子的標準 操作程序的規範 1963年，美國聯邦標準209 （Federal Standard 209 ）。 第一次提到微塵粒子粒徑應訂為≧ 0.5 μm 建議藉由光學微粒子計數器來計算 1999年，國際標準化組織ISO 14644-1標準。 3-3 Why? 為何採用0.5 μm之粒徑作為標準尺寸？ 當時的微塵粒子計數器所能捕捉到的最小粒徑。 為何均勻流型無塵室要採用90 ft/min的風速 ？ 1. 理論上計算移除濾網前微塵粒子之風速為90 ft/min 。 2. 供風風扇的氣流速度可達 50 ft/min至200 ft/min 。 當高流速時，室內噪音將會相當大且維修費高。 風速為 50 ft/min且僅有一人時，可獲得滿意的微塵粒 子計數。 若有數個人時，風速須 90 ft/min至100 ft/min才足以控 制微塵粒子之污染。 3-4 The Basis of Cleanroom Standards （無塵室標準的基礎） 微塵粒子尺寸 測量的單位為微 米（micrometer ） -6 （1 μm ＝10 m ） 人類頭髮的尺 寸，直徑大約介 於70-100 μm 。 3-6 空氣的潔淨度（cleanliness ）區分等級 聯邦標準209 （A 至D ）之定義是每立方英呎 的空氣中所含有≧ 0.5 μm的微塵粒子數。 聯邦標準209 （E版本）用公制的命名法。 ISO 14644-1標準很快地被各國採用。 依照 ISO 14644-1標準作為無塵室分類之規 範，並附有聯邦標準 209 分類之規範，例 如：ISO Class 5 （Class 100 ）。 3-7 Federal Standard 209 （美國聯邦標準209 ，Fed 209或 FS 209 ） 早期美國聯邦標準 209 （A至D ） Fed 209 發表 制定或修正內容 法規 年月 1963年 Fed 209 1. 無塵室與工作站的需求及環境控制。 12月 1.無塵室等級