微制造惯性传感器.pdfVIP

微制造惯性传感器进展 吴洪涛 南京航空航天大学机电学院，210016 摘要：本文介绍了微制造惯性传感器（微加速度计和微陀螺）的发展情况。论述了微加 速度计和微陀螺的基本运行原理，资料介绍的若干装置的不同结构形式及其性能，与设计和 操作有关的重要的结果，提出了其中典型结构的一些应用，说明了微加工惯性传感器未来的 发展趋势。限于篇幅，对界面电子学和惯性元件的封装技术仅作简单讨论，而温度补偿、标 定、自测试验等没有涉及。 关键词：微制造惯性传感器，微加速度计，微陀螺，微制造技术 Abstract: In this paper, the development of the micro-machined inertia sensors(the micro accelerator and the micro gyro) was introduced. The base operation principle of the micro accelerator and the micro gyro has been dissertated. Some different types of structures and their properties, and the important result related with design and operation has been introduced, and the usage of the typical structure has been put forward. Their future developing trend have also been interpreted. Limited by the length of this paper, the aspect of interface electronics and the encapsulation of the inertia parts has not been discussed shortly, and the compensation of temperature, the demarcate, the self meterage experiment have not been involved yet. KEY WORD: Microm-achined Inertia Sensors, Micro Accelerator, Micro Gyro, Micro Machining Technology 一、引言 微制造惯性传感器（Micromachined Inertial Sensor ，MIS ）：包括微加速度计和微陀螺。 当前它们已经成为 MEMS 研发的热点，其应用领域包括汽车、航空航天、军事工程、机器 人、机床、交通运输、医疗、计算机等等。目前微制造惯性传感器的巨大需求主要来源是汽 车应用，当前汽车的发展正要求所谓的“2 毫米工程”，100 公里耗油量 3 升技术，在 160 公里每小时要听见针落地的声音，这就对汽车的主动安全系统、操作控制稳定系统、电子悬 挂系统、驾车稳定，翻转探测等提出了更高性能的要求。此外，高速机床，机器人等作业和 运输设备也同样需要对其作业过程及进行振动和冲击跟踪和监控，也需要进行安全操作控 制；在医疗领域，需要对病人手术实施主动监控环境监控，图像处理实现摄像机的主动图像 稳定处理，计算机外部设备中由微制造惯性传感器组成的惯性鼠标，可置于人的头顶，使操 作人员的双手得到解放，去完成更高级的操作。上述任务的完成都离不开微制造惯性传感器。 微制造可以以几个数量级缩小惯性传感器的尺寸，大大降低制造成本，并且允许与硅片集成 为一体化。随着小尺寸，低成本的微制造惯性传感器的发展，其性能的不断提高，将在更高 级的工程领域中取得应用，例如：未来小卫星，掌上飞机就需要高性能微制造惯性传感器的 应用。图 1 总结了微陀螺仪的性能改善趋势。 图 1 微陀螺仪的性能改善趋势 值得指出的是，从运动原理的角度来看，微制造惯性传感器中的微制造加速度计，和 微制造陀螺仪都是基于振动的原理，分别实现直线运动的信息和转动运动方面的信息，所以 微制造惯性传感器将宏