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光阻涂布机(Laurellspincoater)WS-400BZ-6NPP
NTHU - Institute of Photonic Technologies 清大光電所 Organic Photonic Lab 有機光電實驗室
光阻塗佈機 (Laurell spin coater) WS-400BZ-6NPP 1
型號： LAURELL Model WS-400A-6NPP/LITE
功能： 光阻之塗佈及顯影、晶片旋乾等。
標準操作程序及注意事項 (SOP)
NTHU - Institute of Photonic Technologies 清大光電所 Organic Photonic Lab 有機光電實驗室
一、儀器介紹 2
I.儀器外觀（圖一） II.操作面板（圖二） III.儀器後面（圖三）
(1) 光阻塗佈機腔體外觀 (1) Step recipe設定鈕， (1) 抽真空接頭，
(2) 操作面板外觀 (2) Program 程式設定鈕， (2) 儀器開關鈕，
(3) Recipe設定鈕， (3) CDA(compressed dry air)氣
(4) 抽真空紐， 壓閥，
(5)面板游標移動按鈕 (4) 光阻廢液回收處，
(6)顯示面板
(7) 參數更改，數值增減設定按鈕
(8) Step 增減按鈕，
(9) Run/Stop 執行按鈕，
開機前注意事項 :
*CDA/氮氣鋼瓶必要開啟 (Check)
*Vacuum Pump 需要開啟 (Check)
ex. CDA/氮氣閃爍時表示 CDA/氮氣不足
*查看是否有 Error Feedback (有無閃爍字樣在控制面板上當 CDA vac都已確認啟動後 . 如果有請檢
查機台如不清楚請找資騰科技 (03)5750305)
請勿將* chemical倒入 chuck中央小孔 (尤其在 vacuum啟動後 ) !
使用步驟 :
1) 打開機體開關.
2) 確認 CDA氮氣 vacuum pump已開啟 .
NTHU - Institute of Photonic Technologies 清大光電所 Organic Photonic Lab 有機光電實驗室
3
破片adaptor
3) 打開上蓋將2”~6” wafer 置於chuck 中央放上(如用破片請把破片adaptor 套上)後蓋上上蓋.
4) 於控制面板上按VACUUM （藍色按鍵）並確認VAC 數值 15 此時Substrate 應被吸住（vac15
機台不會啟動! ）.
5) 設定：
i) 於PROGRAM SELECT 選擇一個PROGRAM(A~T)來設定一道Recipe.
ii) 按F1 進入設定
iii) 加一step 請按 ADD STEP
iv) 減一step 請按 DEL STEP (減step 會從最後一個Step 去除！)
v) 設定轉速時(rpm; time)使用箭頭(上下: 數值設定(value):左右: 指標(cursor)~閃爍時即可設定)
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