微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析Ξ - CiteSeerX.PDF

( ) Journal of Mechanical Strength 机械强度 2001 ,23 4 :516～522 微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析 FAIL URE ANALYSIS OF MICROACCEL EROMETER UND ER IMPACT LOAD ING 1 ,2 1 3 3 1 王立森 　 胡宇群 　李志宏 　余同希 　赵亚溥 ( 1. 中国科学院力学研究所 非线性力学国家重点实验室 ,北京 100080) (2 . 北京大学 微电子学研究所 ,北京 100871) (3 . 香港科技大学 机械工程系 ,香港 九龙 清水湾) 1 ,2 1 2 3 1 WAN G Lisen 　 HU Yuqun 　LI Zhihong 　YU Tongxi 　ZHAO Yap u ( 1. State Key L aboratory of N onlinear Mechanics , Chinese Academy of Sciences , B eij ing 100080 , China) (2 . Institute of Microelectronics , Peking University , B eij ing 100871 , China) (3 . Dep artment of Mechanical Engineering , Hong Kong University of Sciences and Technology , Hong Kong , China) 摘要 　抗冲击性是加速度计的一个主要性能指标 , 跌落实验则是一种测试结构冲击作用的有效方式 ,本文利用跌 落实验对一种折叠梁式微加速度计在冲击载荷作用下的失效模式进行了研究 。实验发现在微加速度计中主要存在两种 主要的失效模式 ,即微梁结构的整体破坏和微结构在横向之间的粘附。应用拟静态和能量方法给出微结构在冲击载荷 下的响应 。 关键词 　微加速度计 　体硅加工工艺 　冲击载荷 　失效分析 　粘附 Abstract 　Shockresistibility is a major performance index for accelerometer . Drop test is a effective way test for the test of structures subj ected to shock load. The failure modes of a folded flexure microaccelerometer are verified by drop test . Two typical failure modes are observed : complete rupture or fragmentation of beams and stiction between moving parts