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2006 11 1
CH INESE JOURNAL OF STEREOLOGY AND MI AGE ANALYSIS Vo.l 11 No. 1 March 2006 5
:1007 -1482(2006)01 -005 -06
1 1 1 1 2
, , , ,
(1. , 515063; 2. , 515031)
:SE 和AF 技术是最常用的表面分析方法。本文介绍了 SE 和AF 两种技术的原理,
描述了这两种技术在样品形貌 构、成分分析和实验环境等方面的性能, 比较了两种技术的特性和
不足, 充分利用两种技术的互补性,将两种技术 合使用,有助于更加深刻地认识样品的特性。
:原子力显微镜;扫描电子显微镜;表面形貌;化学成分
+
:TG115. 21 5. 3, R319 :A
The comparison of SEM and AFM techniques
1 1 1 1 2
CHEN Yaowen, LIN Yuejuan, ZHANG Haidan, SHEN Zhewei, SHEN Zhongying
(1. CentralLaboratory, Shantou University, Guangdong Shantou 515063, China;
2. edicalCollege, Shantou University, Guangdong Shantou 515031, China)
Abstract:Scanning electronmicroscopy (SE )and atomic forcemicroscopy (AF )are powerful tools
for surface investigations. This article described the principles of these wt o techniques, compared and
contrasted these two techniquesw ith respect to the surface structure and composition ofmaterials, and en-
vironment. SE andAF are complementary techniques, by having both techniques in an analytical fa-
cility, surface investigationsw ill be provided amore complete representation.
ey words:atomic forcemicroscopy;scanning electron microscopy;surface structure;composition
, 。
(0. 3μm), 1982, Gerd BinnigHeinrich Rohrer IB
。 1924,
, (Scanning Tunneling icroscope, ST ),
—,
, 、
。 。, ST
(Scanning Electron icroscopy, SE ), ,
1935, 1942, , ST , ST
, Binnig 1986
, , , (A tomicForce icroscope, AF )。AF
。 ( )
, 1965, , ,
SE , 50 nm 。, ST AF ,
0. 5 nm,, (ScanningProbe icroscope,
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