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2017-07-30 发布于北京
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SEM/EDX training Serve through PeopleConnect through Technology SEM/EDX SEM/EDX 介绍介绍介绍介绍介绍介绍介绍介绍三：三：参数选择参数选择三三：：参数选择参数选择 2 Serve through PeopleConnect through Technology SEM/EDX重要参数影响SEM/EDX重要参数影响 SEM/EDXSEM/EDX重要参数影响重要参数影响 SEM/EDX重要参数对测试结果的影响:（参数的优化选择见后页附上的DOE实 ) 1.加速电压1.加速电压：一般推荐使用：一般推荐使用20kV 20kV 1.1.加速电压加速电压：：一般推荐使用一般推荐使用20kV 20kV 加速电压可选范围0.5kV～30kV。为了使X射线有足够的强度，有较高的信噪比，又保证有较小的分析体积，一般加速电压为特征X射线能量2-4 倍。一般较低的加速电压，不能完全激发元素的X射线，影响测试结果。加速电压越高,越能激发出元素的X射线。但如果加速电压太高,容易击穿样品表面,造成分析失败。并且加速电压太高 (大于20KV)，容易造成电压积累，导致放电。影响图像效果。典型的加速电压为15—20 KV。一般推荐使用20kV。 3 Serve through PeopleConnect through Technology SEM/EDX重要参数影响SEM/EDX重要参数影响 SEM/EDXSEM/EDX重要参数影响重要参数影响加速电压选择注意事项加速电压选择注意事项：：加速电压选择注意事项加速电压选择注意事项：： • Al和Al和BrBr的区的区：： AlAl和和BrBr的区的区：： Al的Kα线系临界激发能量为1.487 keV。 Br的Lα线系临界激发能量为1.481 keV，Kα线系临界激发能量为11.9089 keV。 Al的Kα线系与Br的Lα线系临界激发能量非常相近，容易混淆。加速电压为20kV时，不能激发Br的Kα线系，用30kV则可以，因此可以用30kV区分Al和Br。 •• PPPP和和和和AuAuAuAu的区的区的区的区：：：： PPPP和和和和AuAuAuAu的区的区的区的区：：：： P的Kα线系临界激发能量为2.013 keV。 Au的Lα线系临界激发能量为2.123 keV，Kα线系临界激发能量为9.714 keV。加速电压为20kV时，不能完全激发Au的Kα线系。选择25V可以解决此问题。因此可以用 25kV区分P和Au。 • P和P和PtPt区区：： PP和和PtPt区区：：备注: 我们在喷金(Pt)导电膜时,有时会引入少量的Pt元素。所以在分析P含量时候特别注意,由于Pt的Lα为9.443 keV,MMα为2.05 keV.Pt的MMα和P的Kα(2.013)能量很 MM MM 相近,容易混淆。我们选择加速电压为20KV时, ,不能激发Pt的Lα线系, 所以常常在去掉Pt元素时,会带来P含量分析的影响。因此我们采取25kV可以区分P和Pt