低温泵说明和操作.docVIP

EAST低温泵运行操作流程 第一版0701 EAST现有低温泵分布： EAST装置上共11台低温泵：主抽管道上4台，上下偏滤器窗口6台。低杂波1台。压缩机型号均为HC-10，膨胀机型号均为MARATHON 16。 主抽管道：编号为P1.1、P1.2、P1.3、P1.4； 上下偏滤器：上偏滤器4台，下偏滤器2台。分别位置为：上AB窗口的P1.0、上EF窗口的P1.5、上I J窗口的P1.6、上MN窗口的P1.9；下AB窗口的P1.7、下MN窗口的P1.8； 低杂波冷泵：编号为P1A，位于低杂波天线箱体上方。 运行条件（水电气） 冷却水 低温泵单独使用冷却循环水，供、回水阀门均接于装置下方供水环管。从下环管进水，回水到上环管。保证水温低于或者保持为25度。 供电 从抽气控制柜将低温泵的压缩机的电源合上，并保证低温泵再生电源也合上。 供气 低温泵与装置连通阀门与再生角阀的供气为一一配对供气，气压要求为4.6公斤（上下限为3.5－4.9公斤）。 运行 装置在不同阶段对低温泵的运行 任何情况下，打开低温泵阀门时，要尽量保证两面气压相差不大。 在粗抽真空阶段，可以打开低温泵的阀门，但低温泵不运行。 在进入烘烤期间，主要依靠低温泵去除水汽。 在辉光、氦射频清洗期间，应该关闭阀门。 在等离子体放电期间，应该打开阀门。 在实验结束后，应该关闭阀门，并对其进行再生后停止运行，向泵腔内放清洁氮气。 启动 膨胀机空腔气压达到或者低于5.0E-2torr(6.6Pa)可以启动 开冷却水，确认对应阀门处于关态，供电； 压缩机（HC-10）上He压力表的读数应该为211-215psig(14.6－14.8bar)； 巡检：将压缩机两个控制电源开关合上按Display对低温泵准备状态进行巡检，一切正常的话都应该显示为OK。如有出现ERR的情况，请根据面板上的提示(“水温高”、“水流低”、“电源缺相、断保险”、“运行状态”、“电机线圈温度故障”)做相应的处理。 按下压缩机面板上的“ON”，冷泵运行时，压缩机上面板上的压力表应该有节奏的摆动。如果泵长时间没运行，可能开始的时候摆动幅度范围比较小，但节奏应该都为每秒2次左右，此时在膨胀机附近可明确的听到气流阀切换的节奏声。在远控时，应该保证现场能正常启动后切换至远控。 在膨胀机冷头温度到达16K以下，一般到13K，就可以打开对应的阀门抽气。 监测 十一台低温泵的运行冷头温度均集中在两台温度计上显示，位于现场压缩机顶部。并将温度信息采集到控制室，可以很明了的观察到低温泵冷头温度的变化； 每台泵上均装有DL-7规管，必要时关闭低温泵阀门，对泵的真空极限进行测量。 安全保护 内真空压强超过5E-2Pa时自动关闭阀门； 冷头温度高于连锁保护设定值时关闭阀门； 对内真空充氦气前，或辉光前需要关闭低温泵阀门； 如果在泵运行期间出现突然停电或断水，而影响泵的正常运行时，应随即关闭对应的阀门，以防由于温度的上升而向真空室里释放气体。再关闭对应的控制开关。 停泵 在准备停泵时，先关闭对应的阀门，再按下压缩机面板上的关闭按钮或远控停止压缩机。 再生： 需要进行再生的情况： 当在正常情况下（排除烘烤对其的影响），低温泵在运行期间的冷头温度超过20K，而且呈上升趋势。而且关闭对应的阀门后，温度并没回到16K以下； 当低温泵吸入过多某种气体，通过开关相应阀门观察总、分压判断出冷泵往装置里放气的时候； 泵在运行一段时间后，通过开关相应阀门观察总、分压判断出整体抽速很小情况下； 为了防止意外情况发生，在低温泵运行超过10天后就应该对其再生； 再生操作流程： 目前低温泵再生的干泵共有两台，主抽管道上P1.1、P1.2、P1.3、P1.4共用一台Varian干泵P10C，其余低温泵共用一台LB干泵P10A； 关闭相应阀门，将需再生的低温泵与真空室隔离。 停低温泵，自然升至室温大约270K即可。 打开再生阀，用干泵通过泵的再生口的阀门对泵腔进行抽气。 利用冷泵自带加热带烘烤泵体，通过加热带上的旋钮调节功率，温度不大于80度，时间不低于3小时。 停止加热带烘烤后，干泵继续抽气至2—3小时至泵体温度回至室温，在机组将低温泵抽至一定的真空（泵腔内真空度参考值50 mtorr约6.6Pa），关闭低温泵的再生小阀门，关闭干泵。 启动低温泵，正常情况下约2.5小时左右，冷头温度就应该降到工作温度（13K左右或更低）。 *注意： 在低温泵运行期间一定要将再生阀关闭，以防倒吸气； 用LB的干泵再生时，一定需要提前30分钟启动干泵，并将泵壳上的气镇位置处于3位置； 在停止低温泵时，根据停止的数量，适当调高冷却水温度，防止过低的水温导致水管冷凝结水； 在再生时，尽量将需要的冷泵同时再生，原则上不允许开启其它低温泵再生阀，如需这样操作，则应该关闭正在再生的低温泵再生阀，