1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 汽车/机械/制造
  5. 机械/仪表工业

水平轴硅微机械陀螺仪机电接口模型的电容分析.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约8.38千字
  • 约 3页
  • 2017-07-29 发布于北京
  • 举报

水平轴硅微机械陀螺仪机电接口模型的电容分析.pdf

    第21卷第3期 传感技术学报 v01．21No．3 OF 2008年3月 CHINESEJOURNALSENSORSANDACTUATORS 眦．2008 onElectromechanicalInterface CapacitanceAnalyses ModelofHorizontal-AxisSiliconMicromachined Gyroscope’ YEFu，WANG Shou—tong。，CHENGLong (School 210096，China) ofInstrumentScienceandEngineeri

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >