面板厂AGV走道FFU布置对LUL微尘污染影响分析报告 - 亚翔工程.PDF

面板廠 AGV 走道FFU佈置對 面板廠 AGV 走道FFU佈置對 LUL微塵汙染影響分析報告 LUL微塵汙染影響分析報告 報告人：亞翔工程 黃士軒 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute © LK Engineering Co., Ltd. 2010 面板廠搬運系統介紹 ( 一) 面板廠搬運系統介紹 ( 一) 所謂 AGV ，是Automatic Guided Vehicle的縮寫，屬於無 人搬運車的一種。由於它沒有軌道，因此，其移動速度比較 慢。 就產品於搬運過程中的保護，通常在 AGV上，自己配備 有風車及HEPA/ULPA濾網，除了過濾空氣外，更確保產品 於搬運過程中的臨時儲存空間為正壓，以防止於搬運過程中 被particle污染 。 其外觀如下圖，而產品(在面板產業就是卡匣就藏身在) AGV內。 Confidential, un