面板厂AGV走道FFU布置对LUL微尘污染影响分析报告 - 亚翔工程.PDF

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面板廠 AGV 走道FFU佈置對 面板廠 AGV 走道FFU佈置對 LUL微塵汙染影響分析報告 LUL微塵汙染影響分析報告 報告人:亞翔工程 黃士軒 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute © LK Engineering Co., Ltd. 2010 面板廠搬運系統介紹 ( 一) 面板廠搬運系統介紹 ( 一) 所謂 AGV ,是Automatic Guided Vehicle的縮寫,屬於無 人搬運車的一種。由於它沒有軌道,因此,其移動速度比較 慢。 就產品於搬運過程中的保護,通常在 AGV上,自己配備 有風車及HEPA/ULPA濾網,除了過濾空氣外,更確保產品 於搬運過程中的臨時儲存空間為正壓,以防止於搬運過程中 被particle污染 。 其外觀如下圖,而產品(在面板產業就是卡匣就藏身在) AGV內。 Confidential, un

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