微透镜阵列的铸塑复制技术 - 光子学报.PDF

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2017-08-04 发布于天津
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微透镜阵列的铸塑复制技术 - 光子学报.PDF

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微透镜阵列的铸塑复制技术 - 光子学报

27 3 Vo 1. 27 No. 3 1998 3 ACT A PHOT ONICA SINICA M arch 1998 陈祥献 ( , 310027) 在光刻热熔成型以及电铸复制得到的微透镜阵列镍板基础上, 采用态铸塑技术, 得到了高质量的PMMA 微透镜阵列. 本文介绍了态铸塑的聚合反应理论基础、模具设计以及工艺过程. 最后对微透镜阵列的复制精度进行分析, 结果表明复制精度优于0. 5m. 微透镜阵列; 微光学; 铸塑; 复制 0 , . . , , . 1 , . . 1 : ; ; . , . , , . , (2020) mm , 130m, 135m. 1 , ig. 1The process of melting photoresist 0. 5m. 1 1. 1 , , . (PMMA, ) . , , 92%, 1.491, . , , , , . , . , , . ( ) . . O O , 收稿日期: 1997—08—04 3 . 267 , . . . . , , , . . , -. . 1. 2 , . ( , ) , , . . . , , . , , , . , , ( 1440) %, , , , . . : (050) % , , 3 ( 10 ) , , . , , , . , , , , , - . , , , , , . , . 2 2. 1 , . , , . , , , . , , . 2 , 2 , .2 ig T he mould of casting plastic , . , . , . . , , . , . . , , 300 , 1. 2. 2 , , . , , , ; , , , , -. , 26827 . , 3050 , 1520 . , . , , . : 100 ; 0. 1 ; 1. 0 . g g g , . . , 80100 510 . , . , , ( 30 ) . , , . , , 0. 51mm . , , , . , , . 3