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高分辨电子显微分析方法 电子散射与傅里叶变换 晶体试样散射电子，在物镜的后焦面形成衍射花样，以及在物镜的像平面形成电子显微像，这两个过程在数学上都可以用傅里叶变换来表述。从试样上的（x，y）点到距离r的（s，t）点的散射振幅表示为： 试样q(x,y)作用使入射波的振幅和相位都发生改变，以上近似成立的条件是观察距离远大于试样大小（Fraunhofer diffraction），即Rx,y，则有： 高分辨像(HRTEM)的成像原理 高分辨电子显微像的形成 高分辨电子显微像的形成有三个过程： 1、入射电子在物质内的散射； 2、通过物镜后，电子束在后焦面上形成衍射波； 3、在像平面上形成电子显微像。 一、入射电子在物质内的散射： 对于薄膜试样，不考虑电子吸收，试样的作用只引起入射电子的相位变化（相位体近似），试样作用可用透射函数表示： 其中σ称为相互作用常数，它是由电镜加速电压决定的量，β=v（电子速度）/c（光速）， (x,y)⊿Z表示在入射电子方向，厚度为⊿z的二维投影势。 二、物镜后焦面上衍射波的形成： 物镜后焦面上电子散射振幅可以用透射函数的傅里叶变换来表示： S(u,v)称为衬度传递函数，表示物镜引起的电子相位的变化，其中的χ(u,v)可以表示为： 式中，⊿f和Cs分别为物镜的离焦量和球差系数，另外右边的第一项