利用劈尖干涉检测工件平滑程度.doc

利用劈尖干涉检测工件的平滑程度 姓名 沈霞民 专业 电子工程 学号 C042012013 摘要 空气劈尖的等厚干涉，可测量精确加工工件表面极小纹路的深度，在生活中有着广泛的运用。 关键词 劈尖 等厚干涉 现有一标准的平滑玻璃片和一待测工件，将待测工件放在下面且待测表面向上，把标准玻璃片置于上方，在两者之间放一薄片，组成一空气劈尖。用单色平行光垂直照射到玻璃片上，在显微镜中观察干涉条纹，可能会出现三种情形。 干涉条纹现象如下 明暗相间的与棱边平行的等间距直条纹 明暗相间但与棱边不平行的弯曲且向左凸的条纹 明暗相间但与棱边不平行的弯曲且向右凸的条纹 由干涉条纹可知 情形一待测工件表面是平滑的，因为条纹是等间距直条纹； 情形二待测工件表面是下凹的，因为本应在该处不出现明纹，却出现与高级次在同一级次的干涉明纹，可知此处光程差变大了； 情形三待测工件表面是上凸的，因为本应在该处不出现明纹，却出现与低级次在同一级次的干涉明纹，可知此处光程差变小了。 下面将通过理论计算求出待测工件表面上凸或下凹的程度。以情形二为例。 由干涉条纹可知，相邻两明纹之间的距离为，明纹偏离的大小为，假设下凹深度为 通过以上计算，很好地得出了待测工件表面下凹了。根据此表达式可以得出，当a越大，b越小，工件表面越不平滑。 将此方法运用于实际中，能够精确地判断出工件是否符合工业标准，筛选出合格的产品。