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大气压射频等离子体化学气相沉积tio2体系的发射光谱诊断.pdf

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    物理化学学报大气压射频等离子体化学气相沉积体系的发射光谱诊断常大磊李小松赵天亮朱爱民大连理工大学等离子体物理化学实验室辽宁大连摘要开展了大气压射频等离子体化学气相沉积放电体系的发射光谱诊断研究分别考察了氧气分压钛酸四异丙酯分压和输入功率对氧原子谱线相对强度氩原子激发温度振动温度以及转动温度的影响结果表明随着氧气分压的增加氧原子谱线相对强度先迅速增加至峰值后缓慢下降振动温度缓慢增加而氩原子激发温度和转动温度基本不变随着分压的增加氧原子谱线相对强度下降氩原子激发温度没有明显变化而振动温度和转动温度增

    物理化学学报(Wuli Huaxue Xuebao) March Acta Phys. -Chim. Sin. 2013, 29 (3), 625-630 625 [Article] doi: 10.3866/PKU.WHXB201212271 大气压射频等离子

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