一种低气压感应耦合发光器件研究.pdfVIP

2008彳F06月 光源与照明 2008年第2期 一种低气压感应耦合 发光器件研究 李文鹏 陈大华 复旦大学电光源研究所(上海200433) 摘要低气压感应耦合发光器件作为一种新型发光光源目前正铍广泛关注。此类发光器件由于无电极、高效和稳定性好等特性 正处于广泛研究之中。陔文就其中一种线圈直接绕制式发光器件的发光原理进行了阐述，并对此类发光器件的电磁场分布进行了描述。 关键词低气压感应耦合无电极线圈直接绕制 1介绍 在密封发光器件外表面，南感应线罔产生高频电流激 感应耦合等离子体(ICP)被人们所熟知已经有一励电磁场，进而耦合能量进入密封发光器件巾。其巾， 百多年的历史”’，此类等离子体以其高效和均匀性被 等离子体是在圆柱型硼硅酸盐玻璃管内形成，管半径 广泛应用于等离子体各类加工方面——等离子体蚀刻、 为27Tnm，厚度为3．55栅。射频感应电磁场是由14 等离子体表面})C积和6^体牛．长等等”捌。而最近，对于 低气压感虚耦合等离子体的研究则趋向于此类器件在 气作为缓冲气体(300K时)。而汞作为发光放电物质， 照明领域的发展”“”’一以其原理制成的各类感应无极 通过设置恒定的冷端温度，保持其气压为0．8Pa。 光源以其寿命长、一致性好和光效较高的特点而逐渐 通过匹配电容与此感性器件配合，产生谐振，电 替代备类传统光源． 路激发器件放电启动，而射频功率是南信号发生器 此类等离子体是南外部电磁场激发而耦合一定的 和信号放大器匹配产生的。在此种感应耦合器件巾。 能量形成的放电．但在耦合发生器件的位置、形状和 通过发生7MHz的射频信号，在输入电压为17～60V 运行参量上却有着显著筹异。目前研究较为广泛的两 之间，可以产生从0．3～20w的耦合功率。同时，在 种电磁场能量耦合方式包括线罔直接绕制式和磁芯铁 轴侧通过光谱仪可记录不同功率下的相对光谱能量 氧体耦合式。而这两种方式均包括有发生器内置和外 分布(如图2所示)。通过实际观察得到，在小功率 置两种不同耦合方式。本文通过白行搭建的一种线圈 情况下，发光集巾在线圈内截面巾．并且在轴向有明 外绕式感应耦合发光器件，着董阐述了这种发光器件 显的条纹存在；而随着功率的增长，发光区域沿轴向 的发光原理． 向线罔外侧扩展，并且条纹现象逐渐消失，巾心区域 2发光器件原理 亮度也进一步增长。整个发光区域形成了椭球形的分 线罔外绕式感应耦合发光器件是将线圈直接绕接 布(如图l所示)。 (a，发光器件在13．59W时 (b)发光器件在7．8w时 母1感应耦合发光器件不同功率下的亮度分布 ·7· 万方数据 2008印06月 光源与照明 2∞8年第2期 电压探又 图2线罔外绕式感应耦合发光器件搭建示意图 通过改变外部输入电流，在更低功率情况下可以 通过实际求解麦克斯韦方程，得到环形电场在径 明显的观察到两种不同亮度模式的转换。分别称为E 向的分布是南巾心为零，而在管壁边界出现最大值的 型放电和H型放电”9‘川。其巾E型放电是通过线圈之 陡峭上升的一种分布轮廓；而轴方向的磁感应线也是 间的电势若产生轴向电场进而耦合进