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可伐合金材料放气与微小容器的真空保持 - Journal of Northeastern
第29 卷第8期 东 北 大 学 学 报 ( 自 然 科 学 版 ) Vol129, No. 8
2 00 8 年 8 月 Journal of Northeastern U ni ersity( Natural Science) Aug. 2 0 0 8
1 1 1 2
张世伟 , 张志军, 徐成海 , 王 立
( 1. , 110004; 2. , 730000)
- 5 3
: ( 10 m ) ,
, :
#
- 13 - 13 3 - 1 - 2
150 e 2h 5. 1@ 10 ~ 2. 1@ 10 Pa#m #s #cm ( 1~ 10 h ) ,
- 8 3 - 2
40 h 2. 6 @ 10 Pa#m #cm ; , H , H O, N CO
2 2 2 #
,
#
,
#
: ; ; ; ; ;
: T B 741 : A : 1005-3026( 2008) 08- 1168-04
Outgassing Rate of Kovar Alloy and Holding Vacuum Degree in
Minisized Container
1 1 1 2
ZH A N G Shi-wei , ZH A N G Zhi-j un , X U Cheng-hai , WA N G L i
( 1. School of Mechanical Engineering Automat ion, Northeastern Uni ersity, Shenyang 110004, China; 2.
Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000, China. Correspondent: ZHA NG Shi-wei, associate professor, E-
mail: shwzhang @ mail. neu. edu. cn)
Abstract: To in estigate the effect of outgassing from a certain material on holding acuum
- 5 3
degree in a minisized container ( 10 m ) , a special testing system w as de eloped w ith the
pressure rise met
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