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来自专家的提示和建议 虚漏：形成、检测及避免 虚漏即貌似（非真正）的泄漏，它是从表面或大量材料或从部分局 通过封闭气体体积形成的虚漏 限在系统内的体积中缓慢释放吸附或闭塞气体所致。上述定义的关 键组成部分是气体的缓慢释放。这明确地将虚漏的影响确定为气 例如，封闭气体体积可能出现在真空室生产过程中的连接工艺里。 源，而气源会减缓抽吸过程或显著延长到达所需底压的时间。 举例而言，如果真空容器壁是对焊在底板上，没经验的设计师通常 来自虚漏的气体流速由局限储气层与真空室自由体积之间的泄漏通 都会指定双角焊缝（见图 1）。这会出现气体局限在两个焊缝之间 道尺寸所决定。如果泄漏通道非常小，局限气体因通道的流动阻力 的危险。如果真空侧的焊缝不紧密，局限气体则会扩散到真空室内 高而释放地非常缓慢，则真空室的抽空时间会显著延长。如果真空 部。 系统反复通风，则储气层可一次又一次自行充满空气。每次进行抽 这一过程将因局限气体体积和真空室内部容积之间的小孔而缓慢发 气时，这种效应会重复发生。泵本身不会对脱气率造成影响。腔穴 生。与此同时，如果外部焊接紧密，则无法使用氦气检漏仪找到泄 的泄漏率 (mbar·l/s) 与泵抽取的气体平衡，即：抽速 (l/s) 乘以实际 漏。因此，从大气侧易接近的焊缝不连续，而是中断的或后续点钻 压力 (mbar)。 的。 图 1：双角焊缝（来源：Jobst H. Kerspe et al., Vakuumtechnik in der industriellen Praxis, expert-Verlag， 工业实践中的真空技术） 虚线表示真空侧。 图 3：旋转馈穿件的轴端是带有侧通气孔的内螺纹 基于同样的原因，CF 法兰上带有泄漏检测槽。一般来说，串联的 双唇形密封件经常用作真空密封件，以最小化渗透气流。但是如果 密封件常常会出现虚漏的危险。内部密封是真空有关的密封，而外 内部密封存在泄漏，这反过来将会形成虚漏。使用排气槽可以将 O 部密封形成了腔穴并妨碍泄漏检测所使用的氦气抵达相关密封。 型圈后面固定空间以及双 O 型圈之间连接空间中的气体排出。这 可将局限气体排出，并且可以使用氦检漏法分别对两个密封将进行 如上所述，泄漏通道的尺寸大小决定了脱气率的大小。典型的例子 检测。 是当气体从一个盲孔穿过真空室内壁中螺钉的螺纹泄漏出去。盲孔 或空心螺钉的通气孔或空心螺钉可用于加速气体从盲孔中的泄漏。 到目前为止，我们只讲到了位于密闭空间的气体。虚漏的上述影 但是小孔的存在削弱了核心并降低了承载能力。如果几何结构允 响，即：延长抽空时间、减慢获得所需底压，如果虚漏中带有水蒸 许，可从螺尾侧创建一个通气孔。 气，上述影响会变得更加显著。例如，通过使用周围潮湿的空气或 如果设备安装在真空室里，已带有通气槽螺纹套筒则可焊接到真空 从真空室内部冷却水管中排出的水分进行通风时，就会发生这样的 室壁，而不是在真空室壁上钻螺纹。 情况。水蒸气从虚漏通道逸出后，将聚积在真空室温度最低的地 方，并且变得比大气中的气体（如对表面附着力不强的氮气、氧气 有时候，如果将夹紧环拧紧至其最大限度且垫片被挤压，虚漏的出 或氩气）更加难以抽出。 现仅仅是由于两个法兰之间的间隙。 可以使用一个小窍门来检测虚漏：如果真空系统配备了质谱仪，虽 然通过惰性气体通气无法定位虚漏，但是，可以通过在相关质量上 增加离子电流来进行检测。例如，如果存在虚漏的真空室在使用氦