太阳能电池用低掺杂率多晶硅薄膜的制备.PDF

中国科学: 物理学 力学 天文学 2010 年 第40 卷 第2 期: 219 ~ 223 SCIENTIA SINICA Phys, Mech Astron SCIENCE CHINA PRESS 论 文 太阳能电池用低掺杂率多晶硅薄膜的制备 * 王成龙 , 范多旺, 王成兵, 耿中荣, 马海林, 苗树翻 兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室, 兰州 730070; 兰州交通大学国家绿色镀膜技术与装备工程技术研究中心, 兰州 730070 * E-mail: clwangee@163.com 收稿日期: 2009-06-24; 接受日期: 2009-12-24 摘要 通过铝诱导晶化非晶硅(Aluminum-Induced Crystallization, AIC)制备的多晶硅薄 关键词 膜具有较高的铝掺杂浓度(2×1018 cm−3), 不适宜作为薄膜太阳能电池的吸收层. 我们提出 太阳能电池