压电倾斜镜的高压驱动和高速控制.pdfVIP

第 23卷 第 1O期 光学 精密工程 Vo1．23 No．10 2015年 1O月 0pticsandPrecisionEngineering 0ct．2O15 文章编号 1004—924X(2015)10—2803—08 压 电倾斜镜的高压驱动及高速控制 凡木文 。，黄林海 ，李 梅 ，饶长辉 (1．中国科学院 自适应光学重点实验室，四川成都 610209； 2．中国科学院光电技术研究所，四川成都610209；3．中国科学院大学，北京 100049) 摘要：由于压 电倾斜镜的机械谐振会降低 自适应光学伺服控制系统的校正带宽，本文研究了补偿压 电倾斜镜谐振特性 的方法。根据压电倾斜镜机械谐振频率特性的动态模型和实测数据，提出了利用压 电倾斜镜高压驱动器 中现有的可编 程逻辑 门阵列(FPGA)设计多阶双二次型数字滤波器来优化系统的动态频率响应特性 。基于多阶双二次型数字滤波 器 ，高压驱动器能实时补偿驱动对象的频率特性，完成压电倾斜镜的正谐振和反谐振的同时补偿。将其与压 电倾斜镜作 为一体，可实现平坦的幅频特性，从而避免机械谐振，提高伺服控制带宽。实验结果表明：相对于传统的高带宽高压驱动 器 ，提出的具有频率特性补偿功能的高带宽高压驱动器可在同样超调量下使系统误差带宽从 56Hz提高到了80Hz，并 且低频抑制能力也得到提高 。实验显示提 出的具有频率特性补偿功能的高带宽高压驱动器更适合压 电倾斜镜 的高速动 态应用 。 关 键 词 ：自适应光学；压 电倾斜镜 ；高压驱动器；高速控制 ；机械谐振 ；特性补偿 中图分类号：TN384；TH703 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE2803 High-。voltagedriveandcontrolforpiezoelectricfaststeeringmirror FAN M u～wen’。 ，HUANG Lin—hal ，LIM ei ，RAO Chang—hui’。 KeyLaboratoryonAdaptiveOptics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China； 2．InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China； 3．UniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100049，China) *C0rjrPs0 gauthor，E-mail：chrao@ioe．ac．cn Abstract：AsthemechanicresonanceofPiezoelectricFastSteeringM irror (PFSM )degradesthecor— rectionwidthofanadaptiveopticsservoloop，thispaperexploresthemethodtoimprovetheperform— anceofthefaststeeringmirrorin high—speedapplications．On thebasisofthedynamicmodeland measured dataofthePFSM ，amulti—ordertWO—second digitalfilterwasembeddedin theFieldPro— grammableGateArray(FPGA)ofthehigh—voltagedriver．Thedigitalfiltercouldsuppressorcom— pensatetheresonancepointand theanti—resonancepointatthesametime．AsawholewiththePF— SM ，theoptimizedfrequencyresponseofthehigh—voltagedriverflattensthemagnituderesponse，a— voidsundesiredresonancebehaviorand improvesthe co