线加速度计的现状与发展动向.pdfVIP

第20 卷第5 期 压　电　与　声　光 . 20 . 5 V o l N o 1998年6 月 P IEZO EL ECTR ICS A COU STOO PT ICS June 1998 　 线加速度计的现状和发展动向 吕志清 　侯正君 ( 四川压电与声光技术研究所, 重庆, 400060) 摘　要　线加速度计是惯性测量和导航系统的主要惯性元件之一。当前, 传统的力再平衡摆 式加速度计占据加速度计的主要市场。对加速度计输出数字化的迫切要求, 推动了石英振梁式加 速度计的发展。随着微电子加工技术向惯性技术的渗透, 微硅加速度计已崭露头角并受到广泛的 关注。 关键词　线加速度计, 石英振梁, 微机械 The Presen t Situa tion and D evelop ing Trend of L inear Accelerom eters L u Zh iq ing　　Hou Zhengjun ( , , 400060) Sichuan Institute of P iezoelectric and A coustoop tic T echno logy Chongqing Abstract　L inear accelerom eter is one of the m ain inertial devices in inertial m easuring and . , navigation system s A t p resent the traditional fo rce re balance pendulum accelerom eter occup ies the dom inant po sition in accelerom eter m arket. T he urgent dem and fo r output digitalization of ac . celero m eters has imp roved the developm ent of quartz vibrating beam accelerom eter A s the m icro electronic p rocessing techno logy perm eated into inertial techno logy, Si m icroaccelerom eter has put a new face on th is fiele and attracted m uch attention. 　 , , Keywords linear accelerom eter quartz vibrating beam m icrom ach ine 测质量的运动方式可分为线位移加速度计和 1　概述 摆式加速度计, 前者是测量检测质量沿