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CMOS电路结构中的闩锁效应及其防止措施研究 Research on Latch-up Effect in CMOS and Its Prevention.pdfVIP

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CMOS电路结构中的闩锁效应及其防止措施研究 Research on Latch-up Effect in CMOS and Its Prevention

菊8卷,第11期 电子与封装 总第67期 V01.8.NO.11 2008年11月 ELECTRONICSFACKAGING 电 路 设 计 CMOS电路结构中的闩锁效应及其防止措施研究术 龙 恩,陈祝 (成都信息工程学院通信工程系,成都610225) 摘要:CMOS Scaling理论下器件特征尺寸越来越小,这使得CMOS电路结构中的闩锁效应日益 突出。闩锁是CMOS电路结构所固有的寄生效应,这种寄生的双极晶体管一旦被外界条件触发,会 在电源与地之间形成大电流通路,导致器件失效。文章首先分析了CMOS电路结构中效应的产生 机理及其触发方式,得到了避免闩锁效应的条件。然后通过对这些条件进行分析,从版图设计和 工艺等方面考虑如何抑制闩锁效应。最后介绍了几种抑制闩锁效应的关键技术方案。 关键词:闩锁效应;CMOS电路;版图设计 中图分类号:TN433 文献标识码:A 文章编号:1681.1070(2008)11-0020.04 Researchon EffectinCMOSandItsPrevention Latch-up LONG Zhu En,CHEN Telecommunication of University (Department Engineering,ChengduofInformationTechnology,Chengdu 610225,China) Abstract:DevicechannelbecomemoreandmoreshortunderCMOS that effectin length Scaling.such latch-up CMOSstructureisstandout isa effectinCMOScircuits.Oncethe BJTis increasingly.Latch—upparasitic parasitic willbe fromVDDto current GND,whichmakesthe mechanismand triggered,therehigh chipinvalidation.Firstly,the triggermodeoflatch—upeffectinCMOS areobtained.Thentheseconditionsare meanswhichcomefrom and latch-up analyzed,andmany design layout arcconsideredto ofthe ale aswell. process prevent key latch—up.Finally,thetec

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