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一 电 子 工 业 毫 用 设 备 新技术应用 控制器供 电频率高低、输出品质的优劣而定。若驱 备对主轴的旋转零件进行精确的动平衡，主轴装配 动控制器制造厂商忽视了中频输出的品质因素，则 后进行整体动平衡，最大限度地减小由不平衡质量 该厂商开发的驱动控制器低频供 电特性相应较差， 产生的机械振动；第四，提高主轴电机定子和转子的 用此类变频电源驱动电主轴，其 电磁振荡现象较为 同轴度，配用性能优 良的驱动控制器，将 电机不平衡 明显。因此选择低频供 电品质优 良的驱动控制器是 磁拉力造成的振动减小到最小值。 降低 电主轴低频时产生 电磁振荡的关键。 高速空气静压电主轴 的设计和制造过程中， 参考文献 ： 必须制定合理的加工工艺和方法，尽可能的提高 [1] 刘素华，袁世先．电主轴关键技术及工艺要点[J】．安阳 主轴 电机定子、转子的同轴度，减小电机的不平衡 师范大学学报 ，2003(5)：71—73． [2] 陈燕林．高频 电主轴系统 电机参数设计[D]．西安建筑 磁拉力。同时根据不同的使用要求配用性能优 良 科技大学硕士学位论文．2004．05．3-5． 的变频 电源或驱动控制器 。将 电机不平衡磁拉力 [3] 王云飞．气体润滑理论及气体轴承设计 M【]．北京：机械 造成的振动减小到最小值 。 工业出版社，1999． [4】 周仁睦．转子动平衡一原理、方法和标准[M】．北京：化 5 总 结 学工业出版社，1992． [5】 赵雷．半导体设备回转构件平衡技术分析 [J]．电子工业 高速空气静压 电主轴运行时的振动主要由静压 专用设备，2002，31(2)：100．102． 气体轴承的气锤振动、主轴的受迫共振、不平衡质量 [6] 吴玉厚．数控机床 电主轴单元技术 [M]．北京：机械工 引起的机械振动及 电机不平衡磁拉力引起的振动等 业出版社，2006． 几方面的振动引起。为了减小振动，在高速空气静压 [7] 郭丹，何大勇，褚福磊．不平衡磁拉力及对转子系统振 动的影响[J]．工程力学．2003(4)：l16—121． 电主轴的设计中采取四方面的工程措施，第一，严格 ． ‘ |s ．S tj ．S 控SgTL节流器气室的容积，严格控制轴承的供气 作者简介 ： 压力；第二，设计阶段采用ANSYS有限元软件，对 王明权 ：(1968-)，男，甘肃天水人，中国电子科技集 团 主轴的一阶、二阶振型进行精确的分析，使主轴工作 公司第四十五研究所高级工程师，主要从事切割类电子专 转速范围远离谐振区；第三，使用高精度的动平衡设 用设备的设计、制造和技术管理工作。 ． 址 J止 ．址 ．址 — ．址 ． ．址 ．址 ．址 ．S ．5It．址 —S ．止 · 业界要闻 · iSuppli看淡第四季 下修半导体 出货预测 IHSiSuppli在九月发表 的报告中预估全球半导 日本供应链乌云罩顶；另一方面，记忆体市场又在第 体年市场将 比去年成长2．9％，过了两个月后，将年