RFMEMS电容式并联开关的研制 Development of RF MEMS Capacitive Shunt Switches.pdfVIP

《半导体光 电22011年 12月第 32卷第 6期 高 杨 等： RFMEMS电容式并联开关的研制 RFMEMS电容式并联开关的研制 高 杨 贾小慧 ，秦 燃 ，官承秋。 (1．中国工程物理研究院 电子工程研究所 ，四川 绵阳621900；2．西南科技大学 信息工程学院，四川 绵阳621010) 摘 要： 通过分析 MEMS电容式并联开关的工作原理 ，设计并制作 出一款适合 Ka波段分 布式MEMS移相器的电容式开关。通过理论计算和经验选取，初步得到了MEMS电容式并联开 关的结构尺寸。采用HFSS软件建立 了开关的三维 电磁场模型并优化 了关键结构参数 。仿真表 明开关在 Ka波段插入损耗 小于 0．15dB，回波损耗大于 15dB。采用 CoventorWare软件进行 了开 关的机 电耦合仿真 ，得 出其驱动 电压为 2．1V。为了满足流片单位的实际工艺约束条件 ，对开关的 设计版图和微加工工艺进行 了多轮改进 ，研制成功 MEMS电容式并联开关工艺样品。开关动态特 性测试表明，在驱动电压 36V 时，桥下拉的高度约为 2 m。 关键词 ： 射频微电