铜沉直拉硅单中区形成影-物理学报.PDF

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2017-08-06 发布于天津
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铜沉直拉硅单中区形成影-物理学报

Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 1 (2012) 016105 * 1) 1)2)3)† 1) 1) 1) 1) ( , 361005 ) 2) ( , 310027 ) 3) ( , 361005 ) ( 2011 3 15 ; 2011 4 28 ) . , - - , , , . . , . , , , . , . : , , PACS: 61.72.Yx, 61.72.Cc, 61.72.S–, 61.72.uf 1 , , , [47] . , [8] , [1], , . Istratov[5] . Andrei [6] , , , , . , [2], . , . , , , , . , . , (1414 C), , 2.75 ×1018 cm3 . . , ( 1200 C), 1010cm2 , [3]. [9], , [10,11]. * (, (SKL2009-11) (2009J1009) . E-mail: xujinmse@ c 2012 Chinese Physical Society 016105-1 Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 1 (2012) 016105 , - - 3 [2,3] . , [12