MKS Instruments Flow Measurement Control （MKS仪器流量测量与控制）.pdfVIP

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2017-08-06 发布于浙江
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MKS Instruments Flow Measurement Control （MKS仪器流量测量与控制）

F l o w Enabling Productivity Through Innovation S MASS FLOW CONTROLLERS APPLICATION-SPECIFIC INTEGRATED SOLUTIONS o ADVANCED MATERIALS DELIVERy SOLUTIONS l w u w t w i. o m n k s s i n s t . c o m I Series Thermal Mass Flow Controllers Mass Flow Meters — The I Series Mass Flow Controllers are designed specifically for industrial mass flow control applications in harsh environments where water and dust may be present and must be protected against. The IP66-rated enclosure for I Series mass flow controllers protect it against direct water spray as well as dust. (for example, hose-down in bioreactor applications) G Series Digital Mass Flow Controllers — The G Series Mass Flow Controllers are well suited for a wide variety of applications requiring flow control capability from 10 sccm to 50 slm, FS N2 equivalent. They incorporate the latest in digital flow control electronics along with a well proven, patented thermal sensor and mechanical design. The G Series models are available with RS485, DeviceNet™ ® or Profibus I/O and utilize the latest in MKS control algorithms, providing fast and r