FEMAG整体介绍.pdf

全球领先的材料晶体生长 多物理场仿真分析软件 FEMAG介绍 中仿科技 技术部 May 7, 2015 仿 真 智 领 创 新 Simulating inspires innovation 主要内容 晶体生长行业背景 FEMAG软件介绍 FEMAG软件产品线 FEMAG 典型应用案例 仿仿 真真 智智 领领 创创 新新 SimulatingSimulating inspiresinspires innovationinnovation 行业现状 • 工业界对块晶体材料高度 依赖 – 半导体和光伏产业需求大 量的Si、Ge 晶体 – LED 、通讯、太阳能产业需 求GaAs、INP、SiC、GaN 等晶体 – HgCdTe 广泛应用于红外成 像设备 – 高能物理、医学成像、光 学依赖氟化物、卤化物、 氧化物等闪烁晶体 仿仿 真真 智智 领领 创创 新新 SimulatingSimulating inspiresinspires innovationinnovation 晶体生长仿真需求分析 设计工程 • 保温套形状、材质及位置设计 • 保温层选择及设计 • 加热器位置设计 • 辅助加热器/ 多加热器设计 质量控制工程 • 热应力控制 • 氧/碳含量控制 • 掺杂物控制 • 缺陷控制 成本控制工程 • 能耗与气耗 • 原料辅料 • 成本、使用寿命等 仿仿 真真 智智 领领 创创 新新 SimulatingSimulating inspiresinspires innovationinnovation 晶体生长仿真难点  晶体生长是一个复杂的过程，涉及：  多物理场耦合（传热、流体、磁场、热应力、传质）  多尺度耦合（多时间尺