用于微机械器件在Fe-Ni合金电镀沉积膜性能.pdfVIP

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2017-08-08 发布于北京
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用于微机械器件在Fe-Ni合金电镀沉积膜性能.pdf

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第 36卷第 5期仓属学歧 Vo1．36 No．5 2000 年 5 月 ACTA M ETALLURGICA SINICA M ay2000 (、( 用于微机械器件的Fe-Ni合金电镀沉积膜的性能 T 陈盎退堑剖熊幸果王渭源 T及I —— 商科学院上海冶金研究所，上海200050) ■ 蔓结合si体微机械技术和电镀技术加工出Fe-Ni／Cu／Si复合悬臂粱，其中Fe-Ni膜厚3 m，Cu膜厚0．2 m．利用共振法首次测出在13Pa气压下，复合悬臂集中FeNi(Fe64，Ni36，质量分数．％，下同)电镀沉积膜的内耗为l0。．利用自行设计的般力／般位移天平法，测出F—Ni(Fe57，Ni43)／Cu／Si复合悬臂粱的Young’s模量为 1．0×i0 N／m Fe-Ni 电幢沉积腱的内应力随膜中Fe古量的增加先是增大然后减小在 Invar合金 (Fe64，Ni36)成分附近达到最大约300MPa． F—N 电幢麓的热嘭系数与嚷中F 吉量关最见I与内应力相反，但与合金体材料变化趋势一致，在 Inva~台金成分附近选到最小．其值高于相应成分的合盒体材料．约 6xl0一。／℃ 关簟调教机械， F Ni合金电幢沉积膜，内应力，热膨胀系数，Young’8摸量．内耗 ●__’… ·_ ·__ 一中田法分类号 TQ1532，0484．4 文献标识码 A 文章编号 0412·1961(2000)05-0525-05 CH ARACTERISTICS oF Fe_-N iALLoY DEPoSITS FoR M EM S APPLIC n oN S CHEN Yao,ZHANG Xuar~ ong，XIONG Xmgguo，WANG W eiyuan ShanghaiInstituteofM etallurgy,TheChineseAc~tdemyofScience~1Shanghai200050 Correspondent：CHEATYaoITel：(o$1Faz：(o2i)625i35lo，E-mail：ser~sor@itsvr．sire．4c．en M anuscriptreveived 1999-06-25，inrevisedform 2000-01-18 ABsTRAcT TheFe-Ni／Cu／Sicompositecantileversweremadewiththecombinationofbulk siliconmicromachingtechnologyandekctr0deDositi0ntechn ology Usingthecompositecantilever．the internalrfictionandYoung’SmodulusofF Nidepositweremeasured．Theinternalrfiction ofF Ni depositF《 64，Ni36，massrfaction塌1iSabouti0—0underresonantfrequency247Hzandv~cnm 1．3 Pa． Based onhome-madeload-deflectionbalancemethod．theYoung’Smodulusofcompos ite cantilever(F 57，Ni43，mRssrfaction，％)wasmeasuredtobe1．0×10¨N／m ．Averageinternalstress 0fF Nidepositsincreasesw