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沸石濃縮轉輪焚化系統 操作績效自我評估管理制度 參考手冊 第二版 白曛綾 、林育旨、張豐堂 、陳建志 編著 補助單位 ：科 學 工 業園 區 管 理 局 執行單位 ：國立交通大學環境工程研究所 中華民國九十二年十二月 目錄 一、前言 1 二、沸石吸附濃縮轉輪焚化系統基本原理 3 三、沸石濃縮轉輪之模廠吸附特性測試 6 3.1測試方法 6 3.2 不同進流溫度對去除效率之影響 10 3.3 不同進流濕度對去除效率之影響 12 3.4 主要操作參數對轉輪去除效率之影響 12 3.5結論 22 四、沸石濃縮轉輪焚化系統操作之成本效率 24 4.1實驗系統 24 4.2沸石轉輪系統結合 RTO 與其結合直接焚化爐之比較 27 4.3 操作參數最佳化 30 4.4結論 32 五、轉輪操作問題 、處理方案與改善成果35 5.1沸石吸附濃縮轉輪主要之操作問題 35 5.2建議處理方案 36 5.2.1設置前端濾布過濾裝置 36 I 5.2.2設置前端高沸點 VOCS 物質冷凝處理設備 36 5.2.3 定期以潔淨水進行保養清洗 37 5.2.4 於操作程序中提高脫附熱容量 39 5.3建議處理方案對系統處理效率改善成果 39 5.3.1設置前端濾布後之系統改善狀況 39 5.3.2 裝設冷凝器前處理及執行水洗程序之系統改善狀況 48 5.3.3 於操作程序中提高脫附熱容量對於系統去除效率之改善 51 六、沸石吸附濃縮轉輪焚化系統之適用建議 53 七、沸石吸附濃縮轉輪焚化系統之操作維護記錄項目及績效自我評估 55 7.1沸石吸附濃縮轉輪焚化系統之操作維護記錄項目 55 7.2沸石吸附濃縮轉輪焚化系統之操作績效自我評估 57 參考文獻60 附件 操作效能自我評估管理記錄表 62 II 表目錄 表3.1使用之沸石轉輪反應器之規格資料 9 表4.1沸石轉輪系統結合蓄熱燃燒爐與其結合直接焚化爐相較後之優缺點 29 表4.2沸石濃縮轉輪結合蓄熱燃燒爐及其結合直接焚化爐之成本比較29 表4.3某半導廠執行原廠參數與本研究群建議操作參數值之去除效率比較 34 表4.4某光電廠操作參數調整前後之處理效率變化 34 表5.1某半導體廠設置冷凝器前後個別成本與總成本比較 52 表7.1沸石吸附濃縮焚化系統建議紀錄項目填寫範例 56 表7.2沸石吸附濃縮焚化系統建議操作績效指標自我評估表範例 59 附表 1沸石吸附濃縮焚化系統操作維護紀錄項目 63 附表 2 沸石吸附濃縮焚化系統建議操作績效指標自我評估表 64 III 圖目錄 圖 1.1沸石吸附濃縮轉輪焚化系統處理流程 5 圖 3.1模廠設備流程 8 圖 3.2 不同氣流進流溫度下對於系統去除IPA 之效率影響 11 圖 3.3 不同氣流進流溼度水份( )與VOC 在沸石轉輪上之競爭性吸附情形 13 S 圖 3.4 不同轉速下 ，轉輪吸附區出口側表面各轉度位置之去除效率 14 圖 3.5(a)不同轉速下，高濃度 (THC =200ppmv)之主要半導體 VOC 於轉輪上 S