静电微泵的3D流固耦合动态特性分析-中国机械工程.PDF

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2017-08-12 发布于天津
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静电微泵的3D流固耦合动态特性分析-中国机械工程

静电微泵的流固耦合动态特性分析———董金新林谢昭应济等 3D 暋暋暋静电微泵的流固耦合动态特性分析 3D 1 2 2 2 董金新林谢昭应济李俊暋暋暋暋暋 , , , , 1.温州职业技术学院温州 325035暋暋2.浙江大学杭州 310027 : — ( ) 摘要采用任意拉格朗日欧拉描述建立了无阀微泵的静电结构流体全耦合三维模 ALE - - , : ; / 型数值仿真表明泵内流体的动态特性与泵膜的运动存在着密切的关系扩散收缩口单元两端的压力 “ 暠 ; ; 差必须达到一定值后才有整流泵送效用泵腔内流体压力的分布几乎一致流体流动的最大雷诺数远 ; 。小于宏观条件下认定的临界雷诺数流体黏滞损失的非线性不容忽视 : ; ; ; ; 关键词无阀微泵流固耦合静电驱动数值仿真 MEMSCAD 中图分类号: ; : / TH38TP271.3暋暋暋暋暋暋DOI10.3969 .issn.1004-132X.2012.05.017 j AStud of3DFullCouledFieldDnamicCharacteristicsofanElectrostaticValvelessMicroum y p y p p 1 2 2 2 Don Jinxin暋LinXiezhao暋Yin Ji暋LiJun g g , , , 1.WenzhouVocationalTechnicalColleeWenzhouZheian 325035 g j g , , 2.Zheian Universit Hanzhou310027 j g y g : AbstractA3-Dimensionalaccurateanalsisoftheelectrostaticvalvelessmicroum involvedin y p p , electrostaticdnamics structuraldnamics