低损耗衬底上实现无源低通滤波器 a passive low-pass filter on low-loss substrate.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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低损耗衬底上实现无源低通滤波器 a passive low-pass filter on low-loss substrate.pdf

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低损耗衬底上实现无源低通滤波器 a passive low-pass filter on low-loss substrate

第27卷第9期半导体学报 v01．27No．9 cHINEsE 2006年9月 JouRNALoFsEMICoNDucToRs sep．，2006 APassiveLow—PassFilteronLow—LossSubstrate’ Li Jiel，LiuZewenl”，ZhaoJiaha02，Chen Jial，LiuLitianl，and Fang Zhongminl，Wei Zhijianl (1 100084，Cht眦) Instttute耐Mtcroetectronics，Tsi醒hu口Umverstty，Beij}鸭 (2 100084，c觚，l口) D哆阳rfme，IfD，MⅡfer蛔f＆fe，l卯跏d E鸭fne洲愕，ni增hM口u耐坩脚印，玎f略 AbstI·act：Thelossmechanismsofdifferent inductorsand differentsub- passivedevices(on．chip capacitors)on stratesare and silicon)and areusedas analyzedcompared．oPS(oxidizedporous the ofsubstrate low．10sssubstratesforon．chipplanarLPF(10wpassfilter)fabrication．Forstudv loss，aplanar coilinductorisalso resultsshowthat theinductoronbothsubstrates designed．SimulationQ(thequalitvfactor)of isover20．MeasurementsoftheLPFon0PSsubstratea一3dBbandwidthof2．9GHzandamidbandinse卜 give tionlOssofO．87dBat500MHz．TheLPFonHRsubstrategivesa一3dBbandwidthof2．3GHzandamidbandin． sertionlossof0．42dBat500MHz． LC low—loss words： filter； substrate； inductor；RF Key low-pass on·chip EEACC：2100 CLCn岫ber：TN713D∞umentcode：A ArticleID：0253．4177(2006)09．1572．06 Inthis LC low—pass