多晶硅还原炉的电器设备 electrical equipments of polysilicon reduction furnace.pdfVIP

李世振 东方电气自动控绷工程有限公司。娲Jll镶阳618∞晚 摘 要：目前，国际上多晶硅的生产。工艺大多采用改良西门子法，其关键设备为还原炉。本文介绍了国内常用的12对多 晶硅棒还原炉之国产主要电器设备，并根据多晶硅生产的流程和工艺，说明选择这些电器设备参数的原则和依据，着重介绍了 生产电子级多晶硅用的高压启动方式，以及可控硅调功器“拼波”的原理。 关键词：多晶硅；还原炉：电器设备 中图分类号：TM42 文献标识码：A 文章编号：1001—9006(2010)03—0062—07 Electrical Of ReductionFurnace EquipmentsPolysilicon LIShi-zhen ElectricalAutoeontrol (Dongfang EngineeringCo．，Lid．，618000，Deyang,Sichuan，China) Siemens andreductionfurnaceare usedin worldwide．Inthis Abstract：Currently，modifiedprocess extensivelypolysiliconproduction domesticelectricalisdescribedwhichcanhold12 rodsandis commonin of paper，a system polysilicon very China．Next，principle ofelectrical isdiscussedba．sedonthe and is indetails parameters equipments polysiliconproductionprocessestechniques．Itrepresented thatstart for of a isconsidered酗 modewith the electronic high-voltproduction gradepolysilicon．Andsteplessvoltageregulationtechnique wellwhichisbasedonthe of Voltage theory SequenceControl(Vsc)． Keywords：polysiliconproduction；reductionfurnace；electricalequipments 伴随着全球节约能源、减排二氧化碳的潮流， 硅的方法。该生产方法的原料是三氯氢硅和氢气。 近年来，我国多晶硅生产方兴未艾。 在温度为1050～1150℃时，三氯氢硅与氢气 多晶硅是制造光／伏发电的太阳能电池片的基 在还原炉内主要发生下列反应囟： 础材料。同时，以电子级多晶硅为原料生产的单 SiHCl3+H2=Si+3HCI 晶硅是电子信息产业的基础材料，是生产大规模 这是一种氢还原反应。 集成电路、半导体分离元件、电力电子器件的原 1．2还原炉生产多晶硅 材料。 近年来，国内大规模多晶硅生产，还原设备 §多晶硅生产概述 芝 多采用12对棒的还原炉。 1．1 三氯氢硅氢还原法 12对棒