原创力文档钒掺杂形成半绝缘6h-sic的补偿机理 a compensation mechanism for semi-insulating 6h-sic doped with vanadium.pdfVIP
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- 2017-08-13 发布于上海
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钒掺杂形成半绝缘6h-sic的补偿机理 a compensation mechanism for semi-insulating 6h-sic doped with vanadium
No．2
第29卷第2期 半 导 体 学 报 V01．29
OF Feb．，2008
2008年2月 JOURNALSEMICONDUCTORS
for 6H--SiC
A Mechanism
Compensation Semi--Insulating
withVanadium。
Doped
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