非制冷红外焦平面阵列进展 development of uncooled irfpa.pdfVIP

：丛垦巡型董堇查： 盘础 非制冷红外焦平面阵列进展 何伟，焦斌斌，薛惠琼，欧毅，陈大鹏，叶甜春 (中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室，北京100029) 摘 要：非制冷红外成像技术已广泛应用于军事和民用领域，一直是A．4r]关注的焦点之一，其核 FocalPlane 心部件是非制冷红外焦平面阵列(IRFPA：InfraredArray)。综述了几种具有代表性的 非制冷IRFPA的探测原理、发展历史和现状。它们是：热敏电阻型、热释电型、热电堆型、二极管 型、热．电容型非制冷IRFPA和应用光力学效应的非制冷IRFPA、基于法布里-珀罗微腔阵列的 非制冷球FPA。 关键词：投非制冷红外成像技术；非制冷红外焦平面阵列；热敏电阻；热释电；热电堆；热一电 容；光力学；法布里．珀罗微腔阵列 中图分类号：TN215 文献标识码：A IRFPA ofUncooled Development HE Tian—chun Wei，JIAOBin-bin，XUEHui—qiong，OUYi，CHENDa-peng，YE Devicesand ofMicroelectronicsof (Silicon IntegratedTechnologyDepartment，Institute Chinese of 1 AcademySciences，Beijing00029，China) Abstract：Uncooledinfrared hasbeen inboth andcivil imagingtechnologyappliedwidely military is oneofthefocusesconcerned ofitisuncooledin— fields，andalways bypeople．Thekeycomponent the detective andcurrent fraredfocal history paper，the principle，evolution planearray(IRFPA)。In ofseveral uncooledIRFPAale arethermistor state representative summarized．Theymode，pyroelectric modeIRFPAand uncooled mode，diodemode，thermo—capacitor optomechanical mode，thermopile IRFPAbased011 IRFPA，uncooled Fabry-Perotmicro·cavityarray． infrared infraredfocal array；Thermistor； Keywords：Uncooledtechnology；Uncooledpl