MEMS数字检波器简介及指标分析.pdfVIP

2013年 12月 物 探 装 备 第 23卷 第6期 · 专论与综述 · MEMS数字检波器简介及指标分析 韩 晓 泉 (英洛瓦物探装备有限责任公司，河北涿州 072750) 摘 要 韩晓泉．MEMS数字检波器简介及指标分析．物探装备 ，2013，23(6)：351～355 本文简要介绍 了MEMS数字检波器 的发展历史、工作原理、应用领域 。重点对用于石油地震勘探 的MEMS 数字检波器进行 了指标分析 ，并就一些比较容易混淆 的概念进行 了解释 。 关键词 地震仪器 MEMS数字检波器 专用集成 电路 数字信号处理器 ABSTRACT HanXiaoquan．BriefintroductiononMEMSdigitalgeophoneanditsspecifications．EGP，2013，23(6)：351～355 Thispaperintroducedthehistory，operatingprincipleandapplicationoftheM EMSinbrief．Thekeyspecifica— tionsandsomeconfusingquestionsofMEM Sforgeophysicalprospectingapplicationaredescribedtoo． Keywords seismicinstrument，MEMS(Micro—Electro—MechanicalSystems)，ASIC(Application—SpecificIntegrated Circuit)，DSP(DigitalSignalProcessor) 类型的传感器便 由此而生。随着科技的不断进步 ， 0 引言 传感器的种类和形状也在不断创新 ，当人们拿着首 款触摸屏手机 (内置 MEMS传感器)炫耀的时候 ，商 自2002年美 国ION公司推出首套基于MEMS 家获得了利益 ，用户得到了愉悦 ，就是在这种利益与 数字检波器 的地震勘探仪器 SystemIV以来 ，MEMS 愉悦的相互促进中，MEMS数字传感器得到了不断 数字检波器 以其优越 的特性引起 了诸多技术专家的 的发展。 兴趣 ，被认为是本行业的第三次重大技术革命 (前两 MEMS是微机 电系统 (Micro—Electro—Mechan— 次分别是 3D勘探和 24位采集技术的应用)。十年 icalSystems)的英文缩写 。MEMS是美 国的叫法 ， 来 ，笔者有幸参与了多次关于该项课题的技术讨论 ， 在 日本被称为微机械 ，在欧洲被称为微系统，它是指 并借助工作之便参观过专业 的生产线 ，更加难能可 可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行 贵的是得到了很多本行业技术专家 的指导和帮助 ， 器以及信号处理和控制 电路、直至接 口、通信和电源 所以想把多年来 曾经 困扰我 的问题加 以总结，与各 等于一体 的微型器件或系统 。MEMS是随着半导 位同仁分享 ，希望能对本专业 的发展尽点微薄之力 体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的 并得到各位 同仁的批评指正。 发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛 应用于微流控芯片与合成生物学等领域 ，从而进行 1 历史沿革 生物化学等实验室技术流程的芯片集成化 。同时， MEMS技术在航空、航天、