光电简报201609-上海技术物理研究所图书馆.PDF

光电信息简报 编号：2016-09 总第356 期 2016-5-10 本期目录 会议报道 美国西部光电展—固体激光器技术研讨会 极紫外光刻 面向大规模生产的EUV 光刻技术进展 中科院上海光学精密机械研究所 光电信息简报20 1609 会议报道 美国西部光电展—固体激光器技术研讨会 2016 年2 月15-18 日，在美国加州圣何塞西由美国国际光电学工程协会(SPIE) 主办的美国西部光电展Photonics West 上，在激光技术与工业激光器（LASE ）主 题会议的激光源工程（Laser Source Engineering ）分主题会议有关Solid State Lasers XXVI: Technology and Devices 的技术讨论，目前已经由SPIE 整理成第9726 卷会议论文集，本报摘编部分会议论摘要： 1、英国Selex ES 有限公司的Ian F. Elder 等人发表题为 《采用中空波导合束的中红 外激光源》文章。 空心波导技术是一种将多个激光源紧凑的进行高效率光束合成的路线。它是一 种适合把由半导体、光纤或固态激光源产生的自由空间或光纤耦合光束合成的技术。 本文将介绍四束激光源经中空波导光路合成的面包板中红外系统的结果。在这种方 法中，单个二向色性光束合成元件都放在中空波导电路的精密对准槽里，在元件之 间不同的输入波长被引导至公共输出端口。中空波导电路是在MACOR （可机加工 的的玻璃陶瓷）衬底的表面上使用精密数控加工技术形成的。空心波导具有和实芯 波导根本不同的传播特性，导致它既有那些接近于大气的传输特性，同时还提供了 有用的光导特性。中空波导电路的传输效率和功率承受能力在宽波段范围可以被设 计的非常高。其中的三束激光是量子级联激光器(QCLs)，半导体激光技术可直接实 现中红外输出。合成的光束提供4.2 W ，优于20µrad 的共孔径近衍射极限输出。证 明了进入该波导的高耦合效率，可以忽略不计波导传输损耗。通过在各波长下的激 光功率加权，中空波导光束合成光学电路的总的透过率是93 ％。这种损耗是由用于 耦合光束的二向色性光学元件的性能决定的。 2 、列支敦士登Pantec Engineering AG 的Manuel Messner 等人发表题为《波长为2.94 微米、峰值功率近 1kW 的高亮度二极管泵浦Er:YAG 激光系统》文章。 作者证明了一个波长为 2.94μm 单片式二极管泵浦的高功率 Er ：YAG 激光器， 平均输出功率高达 50W，400μs 脉冲持续时间的脉冲能量超过300mJ 。在一个大的 2 冷却水温度范围18-25 ℃内，保持近1 kW 的高峰值功率、高光束质量（M 15 ）的 传输。改进的谐振器配置允许占空比从0-10％稳定运行，对比之前的发展显示出饱 和。作为第一项应用，用给出的标准光学元件将其光纤耦合入一根230μm ，数值孔 1 光电信息简报20 1609 径为0.2 的GeO2 光纤，光纤输出高达30W 平均功率和200mJ 的脉冲能量，仅受光 纤限制。 3、美国 Q-Peak 公司的 Evgeny Slobodchikov 等人发表题为 《高峰值功率超快 Cr:ZnSe 振荡器和功率放大器》文章。 Q-Peak 公司开发的基于Cr ：ZnSe 的飞秒振荡器 - 功率放大器激光运行在2.5 微米波段。系统产生单脉冲能量是1 mJ，脉冲重复率为1kHz ，脉冲持续时间184 fs， 其对应的峰值功率为5 GW 。据作者所知，这是此光谱范围的最高记录功率。高峰值 功率源采用了将高效的光纤激光器泵浦和固态晶体组合的混合激光架构。一台掺铥 光纤激光器泵浦的、半导体可饱和吸收镜 （SESAM ）启动的Cr: