SooPAT一种金属氧化物薄膜晶体管及其.PDF

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SooPAT一种金属氧化物薄膜晶体管及其

SooPAT 一种金属氧化物薄膜晶体管及其 制作方法 申请号:200910077733.4 申请日:2009-02-13 申请(专利权)人北京大学深圳研究生院 地址 518055广东省深圳市南山区西丽深圳大学城北京大学校区 发明(设计)人张盛东 李绍娟 王漪 孙雷 关旭东 韩汝琦 主分类号 H01L29/786(2006.01)I 分类号 H01L29/786(2006.01)I 公开(公告)号101478005 公开(公告)日2009-07-08 专利代理机构 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 李稚婷 注:本页蓝色字体部分可点击查询相关专利

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