基于PI迟滞模型的单压电变形镜开环控制 - 仪器仪表学报.PDFVIP

第３８卷　第１期 仪 器 仪 表 学 报 Ｖｏｌ３８Ｎｏ１ ２０１７年１月 ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Ｊａｎ．２０１７ 基于ＰＩ迟滞模型的单压电变形镜开环控制 １ ２ １ １ 田　雷 ，陈俊杰 ，崔玉国 ，马剑强 （１．宁波大学机械工程与力学学院　宁波　３１５２１１；２．中国科学技术大学精密机械与精密仪器系　合肥　２３００２７） 摘　要：压电非线性迟滞导致压电变形镜的开环控制精度及闭环工作带宽降低，限制了其在自适应光学系统中的应用。为克服 迟滞影响，提出采用ＰＩ迟滞模型描述单压电变形镜的迟滞非线性特性，实现单压电变形镜的高精度开环控制。首先建立ＰＩ迟 滞数学模型，利用最小二乘法辨识ＰＩ迟滞模型的权值，计算出ＰＩ逆模型的权值和阈值，从而获得消除迟滞后的变形镜控制电 压；接着搭建了基于哈特曼波前传感器的自适应光学测试平台，采用单压电变形镜的环形致动器进行离焦面形的开环控制实 验。实验结果表明，经过迟滞消除后变形镜的电压变形迟滞由９．３％降低到１．２％，离焦面形的开环重构精度提高７０％以上， 证明该迟滞模型可有效应用于单压电变形镜的开环控制。 关键词：单压电变形镜；ＰＩ迟滞模型；开环控制；波前校正；离焦像差 中图分类号：Ｏ４３９　ＴＨ３９　　　文献标识码：Ａ　　国家标准学科分类代码：４６０．４０３５ Ｏｐｅｎｌｏｏｐｃｏｎｔｒｏｌｏｆｕｎｉｍｏｒｐｈｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｄｅｆｏｒｍａｂｌｅｍｉｒｒｏｒ ｂａｓｅｄｏｎＰＩｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓｍｏｄｅｌ １ ２ １ １ ＴｉａｎＬｅｉ，ＣｈｅｎＪｕｎｊｉｅ，ＣｕｉＹｕｇｕｏ，ＭａＪｉａｎｑｉａｎｇ （１．ＦａｃｕｌｔｙｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇａｎｄＭｅｃｈａｎｉｃｓ，ＮｉｎｇｂｏＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｎｉｎｇｂｏ３１５２１１，Ｃｈｉｎａ；２．ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＰｒｅｃｉｓｉｏｎ ＭａｃｈｉｎｅｒｙａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｔｉｏｎ，ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＣｈｉｎａ，Ｈｅｆｅｉ２３００２７，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｎｏｎｌｉｎｅａｒｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓｒｅｄｕｃｅｓｔｈｅｏｐｅｎｌｏｏｐｃｏｎｔｒｏｌｐｒｅｃｉｓｉｏｎａｎｄｃｌｏｓｅｄｌｏｏｐｏｐｅｒａｔｉｏｎｂａｎｄｗｉｄｔｈｏｆｔｈｅ ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｄｅｆｏｒｍａｂｌｅｍｉｒｒｏｒ（ＤＭ），ｗｈｉｃｈｌｉｍｉｔｓｉｔｓａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓｉｎａｄａｐｔｉｖｅｏｐｔｉｃｓ（ＡＯ）ｓｙｓｔｅｍ．Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｏｖｅｒｃｏｍｅｔｈｅｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓ ｉｎｆｌｕｅｎｃｅｏｆｔｈｅｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｄｅｆｏｒｍａｂｌｅｍｉｒｒｏｒ ，ｔｈｅＰＩｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓｍｏｄｅｌｗａｓａｄｏｐｔｅｄｔｏｄｅｓｃｒｉｂｅｔｈｅｎｏｎｌｉｎｅａｒｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓｂｅｈａｖｉｏｒｏｆａ ｕｎｉｍｏｒｐｈｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｄｅｆｏｒｍａｂｌｅｍｉｒｒｏｒａｎｄａｃｈｉｅｖｅｔｈｅｈｉｇｈｐｒｅｃｉｓｉｏｎｏｐｅｎｌｏｏｐｃｏｎｔｒｏｌｏｆｔｈｅｕｎｉｍｏｒｐｈｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｄｅｆｏｒｍａｂｌｅ ｍｉｒｒｏｒ．Ｆｉｒｓｔｌｙ，ｔｈｅｍａｔｈｅｍａｔｉｃａｌｍｏｄｅｌｏｆＰＩｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓｗａｓｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄ．Ｔｈｅｌｅａｓｔｓｑｕａｒｅｍｅｔｈｏｄｗａｓｕｓｅｄｔｏｉｄｅｎｔｉｆｙｔｈｅｗｅｉｇｈｔｖａｌｕｅ ｏｆｔｈｅＰＩｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓｍｏｄｅｌ．Ｔｈｅｗｅｉｇｈｔｖａｌｕｅａｎｄｔｈｒ